日本MIYUKI美幸辉 BAZ-C63 数字定点电动真空蝶阀

产品核心结构优势

伺服直驱无减速齿轮，零回程间隙，小开度进气线性平稳，档位设定后机械自锁，阀位无漂移；

断电电磁抱闸锁止当前开度，停机保位，避免腔体瞬间大进气造成工件报废、腔体污染；

内置*值原点传感器，断电重启自动回原点，无需人工反复开度；

阀内无外露摩擦零件、低发尘洁净结构，启闭静音，立式 / 卧式 / 侧向任意安装均可。

配套 MS-PC 控制器（成套选配）

操控方式

本地面板：数码拨码设定 00 (全关)~99 (全开) 100 档开度，MOVE 定点执行、OPEN 一键全开，四路 LED 状态反馈（就绪 / 动作 / 全开 / 全关）；

PLC 远程控制：8 位二进制开关量编码远程下发开度点位 + 无源触点启停指令；四路无源触点信号回传设备联锁；

电气规格：DC24V±5% 供电，功耗 95W，控制器外形 110×130×141mm，原厂配套电机线缆可选 3/5/10m。

应用场景

中小型光学 / ITO 卷绕镀膜、电子束蒸镀腔体：阶梯式分段缓破空，规避膜层氧化、针孔缺陷；

PVD 磁控溅射、等离子清洗、离子注入设备：工艺载气*分段配比、腔体稳压；

小型锂电真空脱泡炉、精密钎焊真空炉、科研 XPS/AES 高真空试验舱、精密氦检工装分段梯度泄压。

同口径选型区分

型号	控制模式	配套控制器	适用工况
BAZ-C63+MS-PC	00~99 档位定点分段控流	MS-PC	量产固定工艺、分段泄压进气
BAR-C63+MS-VP	0~10V 模拟无级连续调压	MS-VP	动态闭环实时稳压、连续流量调节

控制器型号	MS-PC
适用的开口规范阀门类型	巴兹加兹
面板显示	4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作	电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出	开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出	准备，移动，打开，关闭
输入电源	电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1	数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）	110毫米×130毫米×141毫米
质量	1公斤
配件	支架
有线电视（单独出售）*2	电机电缆 编码线 电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。

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