罗茨泵配错了,抽速翻倍的效果出不来
真空镀膜、半导体制造、真空干燥、真空热处理——油旋片泵单独抽,抽速不够、极限压力下不去。加一台罗茨泵,抽速可以翻几倍,极限压力也能降一个数量级。但很多工程师选罗茨泵只看抽速,忽略了和前级泵的匹配——罗茨泵不能单独抽大气,必须配前级泵才能工作。前级泵选小了,罗茨泵带不动;选大了,成本浪费。
更隐蔽的坑:罗茨泵的冷却方式很多人选错。NB系列在530Pa以下可空冷,但530Pa以上连续运转必须用水冷。选型时不看工艺压力区间,空冷泵在高负荷下连续运行,直接过热咬死。还有,NB系列分*号B系列和老型号A系列——B系列是产*号,A系列是日本产老型号,参数有差异,买之前要分清。
ULVAC NB100B / NB300B / NB600B / NB1200B / NB2400B 通用型罗茨真空泵,腔体内无润滑油,对水蒸气、溶剂等气体有稳定的排气性能。与油旋片泵或水环泵组合使用,可在 1.3×10³ ~ 1.3×10⁻¹ Pa 范围内显著提高抽气速率。
| 项目 | NB100B | NB300B | NB600B | NB1200B | NB2400B |
|---|---|---|---|---|---|
| 抽速 (50Hz) | 95 m³/h | 280 m³/h | 500 m³/h | 1000 m³/h | 2000 m³/h |
| 抽速 (60Hz) | 115 m³/h | 330 m³/h | — | 1200 m³/h | — |
| 极限压力 (气镇关) | ≤4.0×10⁻¹ Pa | ≤4.0×10⁻¹ Pa | ≤4.0×10⁻¹ Pa | ≤6.7×10⁻¹ Pa | ≤6.5×10⁻¹ Pa |
| 电机功率 | 0.4 kW | 0.75 kW | 2.2 kW | 3.7 kW | 7.5 kW |
| 使用油 | ULVOIL R-4 | ULVOIL R-4 | ULVOIL R-4 | ULVOIL R-4 | ULVOIL R-4 |
| 油量 | 0.35 L | 0.70 L | 1.50 L | 1.90 L | 4.0 L |
| 冷却方式 | 空冷 | 水冷 2.0 L/min | 水冷 2.0 L/min | 水冷 3.0 L/min | 水冷 3.0 L/min |
| 重量 | 24 kg | 49 kg | 77.5 kg | 110 kg | 255 kg |
| 吸气口径 | VG50 | VG80 | VG80 | VG100 | — |
注1:极限压力为皮拉尼真空计测量值。如用麦氏真空计测量,NB100B/300B/600B为 4.0×10⁻² Pa,NB1200B为 6.7×10⁻² Pa,NB2400B为 6.5×10⁻² Pa。
注2:冷却方式——对于530Pa以下可用空冷,但530Pa以上连续运转必须用水冷。
注3:抽速随前级泵的性能而变化,表中数据为与标准前级泵组合使用时的数据。
NB100B 是NB系列*小号,抽速 95 m³/h(50Hz)/ 115 m³/h(60Hz)。适合小腔体、对洁净真空有要求的场景——分析仪器、检漏设备、CO₂激光设备的前级增压。
空冷设计,无需接冷却水,安装简单
电机功率仅 0.4 kW
重量仅 24 kg
油量 0.35 L,使用 ULVOIL R-4 油
吸气口径 VG50
标准前级泵:GLD-N280
适合谁:分析仪器、检漏设备、CO₂激光设备、小型真空干燥设备。
NB300B 抽速 280 m³/h(50Hz)/ 330 m³/h(60Hz)。适合中等规模真空设备的增压需求——镀膜机、真空干燥箱、真空热处理炉。
水冷设计,冷却水流量 2.0 L/min
电机功率 0.75 kW
重量 49 kg
油量 0.70 L,使用 ULVOIL R-4
吸气口径 VG80
标准前级泵:VDN301
可选大容量电机:1.5 kW
适合谁:光学镀膜机、溅射设备、真空干燥箱、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
NB600B 抽速 500 m³/h(50Hz)。适合大腔体、高抽速需求的场景——大型真空镀膜机、大型真空干燥设备、半导体制造。
水冷设计,冷却水流量 2.0 L/min
电机功率 2.2 kW
重量 82.5 kg
油量 1.50 L,使用 ULVOIL R-4
吸气口径 VG80
冷却水压差 0.1 MPa,冷却水温度 5~30℃
标准前级泵:VDN401
可选大容量电机:3.7 kW
适合谁:大型光学镀膜机、大型真空干燥机、真空热处理炉、半导体制造设备。
NB1200B 抽速 1000 m³/h(50Hz)/ 1200 m³/h(60Hz)。适合大型腔体、极高抽速需求的场景——大型真空镀膜生产线、大型真空炉。
水冷设计,冷却水流量 3.0 L/min
电机功率 3.7 kW
重量 110 kg
油量 1.90 L,使用 ULVOIL R-4
吸气口径 VG100
极限压力 ≤6.7×10⁻¹ Pa(皮拉尼计)
标准前级泵:VSN1501 / VSN2401
适合谁:大型真空镀膜生产线、大型真空热处理炉、真空烧结炉、半导体制造设备。
NB2400B 是NB系列*号,抽速 2000 m³/h(50Hz)。适合大型工业真空系统——大型镀膜生产线、大型半导体设备、大型真空炉。
水冷设计,冷却水流量 3.0 L/min
电机功率 7.5 kW
重量 255 kg
油量 4.0 L,使用 ULVOIL R-4
极限压力 ≤6.5×10⁻¹ Pa(皮拉尼计)
配置变频器后可与前级泵同时启动,与标准泵相比有效缩短排气时间
适合谁:大型真空镀膜生产线、大型半导体制造设备、大型真空热处理炉、真空烧结炉。
NB系列是ULVAC通用型罗茨真空泵,腔体内无润滑油。四大核心优势:
洁净真空:腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能
高吸入压运行:选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运作
宽压力范围:与油旋片泵或水环泵组合使用,可在 1.3×10³ ~ 1.3×10⁻¹ Pa 范围内提高抽气速率
冷却方式明确:530Pa以下可空冷,530Pa以上连续运转必须用水冷
材质:所有铸件采用铝合金材料,散热快、体积小、重量轻。
B系列 vs A系列:
NB-B系列:产*号(如NB100B),目前主力在售型号
NB-A系列:日本产老型号(如NB100A),参数与B系列基本一致。A系列部分型号已逐步被B系列替代,新项目建议直接选B系列
选型三步法:
算抽速:小腔体/分析仪器 → NB100B;中型镀膜/干燥 → NB300B;大型设备 → NB600B/1200B;大型产线 → NB2400B
看冷却方式:NB100B为空冷,无需接水;NB300B及以上为水冷。工艺压力过530Pa连续运行,必须用水冷
配前级泵:罗茨泵不能单独抽大气,必须配前级泵。标准匹配如下:
NB100B → GLD-N280
NB300B → VDN301
NB600B → VDN401
NB1200B → VSN1501 / VSN2401
*不能做的事:
罗茨泵单独开机抽大气——会烧泵
530Pa以上连续运行选空冷——过热咬死
前级泵抽速不足——罗茨泵无法正常工作
用错油品——必须使用 ULVOIL R-4
冷却水温度低于5℃——泵体结露,影响寿命
授权渠道:深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商
发货地:深圳仓 / 上海仓 直发
供货周期:NB100B / 300B 常用规格 现货或1~2周;NB600B / 1200B / 2400B 订货 3~4周
配套一站式采购:ULVOIL R-4油、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、前级泵(GLD/VDN/VSN系列)
技术支持:免费提供罗茨泵-前级泵匹配计算、冷却方式选型建议、安装指导、故障远程排查
真空镀膜:蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、液晶注入
真空干燥:真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理:真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
半导体制造:照明、电子、光学、半导体器件制造
分析仪器:分析仪器、检漏设备、CO₂激光设备
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ULVAC NB100B / 300B / 600B / 1200B / 2400B 罗茨真空泵
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