原装 SINFONIA昕芙旎雅科技面板 FOUP 负载端口 SELOP20F12-SP

支持大型面板上的下一代集成技术（FOPLP）

高精度测绘
无颗粒物
半导体标准符合性
支持多种基材尺寸：
600×600mm、
510×515mm
、300×300mm、
250×250mm

模型	SELOP20F12-SP	SELOP24F12-SP
目标工作	515×510mm 面板	600×600mm 面板
方面	宽793×深739×高1433（毫米）	宽793×深810×高1433（毫米）
重量	140公斤	150公斤
应用	6/12 面板 FOUP（符合 SEMI E-181 标准）
周期	FOUP 开机耗时 20 秒（含映射过程）， FOUP 关机耗时 15 秒（不含映射过程）。
门保持方法	真空吸收法
定位精度	FOUP 前后轴精度为 ±0.1mm，FOUP 上下轴精度为 ±0.1mm
检测功能	①FOUP 存在 ②FOUP 位置 ③FOUP 门存在 ④晶圆映射 ⑤晶圆凸起 ⑥手部安全
移动机构	①门（上/下・开/关・晶圆映射）：步进电机・同步带 ②夹钳・对接・锁扣：气缸
标准功能	①晶圆映射 ②控制器 ③脱离位置调整功能（用于与OHT线配合调整） ④螺栓表面位置调整机构 ⑤自立式脚轮 ⑥以太网※ 通信规范
公用事业	①电源： DC24V 5A ②空气 : 0.45 ∼ 0.6MPa 10L/min ③真空空气 :－60Kpa 5L/min
通信接口	RS232C、以太网※ TCP/IP
选项	①可定制指示面板 ②可定制开关面板 ③载具ID读取器 ④信息板（A、B、C、D、E、F）（硬引脚和传感器） ⑤PIO ⑥不含映射功能 ⑦适用于AC200V ⑧E84 ⑨E84、CID通信 ⑩螺栓表面密封 ⑪氮气吹扫

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原装 SINFONIA昕芙旎雅科技 面板 FOUP 负载端口 SELOP20F12-SP