日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 MS-500
来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2026-06-04 13:36:07
日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪
日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪
MS-500 是东丽 TORAY 分体式多点氧化锆氧气分析仪，整套由MS-500 主控控制器 + MS-510 信号转换器 + SD 直插真空传感器三部分组成，主打真空腔体、惰性气氛、多工位同步微量氧监测，是半导体、真空热处理行业标配在线氧含量监测仪表，原装日本东丽工程出品，符合 CE、RoHS 工业规范。用于安装在半导体制造设备等系统上;*多8个测量点
氧化锆氧分析仪的测量原理
当经过电极加工的锆陶瓷置于高温时，一侧电极段的氧分子会电离，而另一侧电极段的氧分子则会被转化回氧气分子。这一性质称为离子传导。随着氧化锆陶瓷两侧氧浓度差异的增加，离子传导量也会增加。电子在两个电极之间传递，离子电导率（即氧化锆陶瓷两侧氧浓度的差）可以作为两个电极之间的电动势来测量。如下图所示，这种电动势根据能斯特方程产生稳定的数值，因此东雷的锆传感器能够可靠且稳定地测量氧浓度值。
产品核心优势
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8 点多路集成，降本省空间：一台主机替代 8 台单体氧分析仪，分体壁挂小巧机身（控制器尺寸 92×44×120mm），适配设备内嵌集成；转换器与传感器标配 2m 连接线，*长可延长至 10m 布线。
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真空直插免取样：SD 传感器直接装入真空炉 / 工艺腔体，无需采样泵、取样管路，杜绝管路渗漏带来微量氧测量误差。
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高耐久传感器：传感探头表面做特殊耐蚀涂层，抗杂质、惰性气体腐蚀，长期真空工况使用寿命优于常规氧化锆探头。
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通讯拓展丰富：标配 4-20mA 模拟输出，可选 EtherCAT、LAN 网口通讯，对接 PLC、上位机、半导体设备工控系统。
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开机快速投用：整机预热仅 6min，短时间即可进入稳定测量状态。
典型应用场景
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半导体行业：晶圆镀膜、刻蚀腔体、扩散炉、多腔体真空设备惰性保护气氛残氧监控；
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真空热处理：钎焊炉、烧结炉、粉末冶金炉氮气 / 氩气保护氛围氧含量管控；
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光伏 / 锂电：锂电烧结窑、光伏镀膜真空腔体微量氧在线检测；
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特种气体：高纯氮、高纯氩成品气微量氧出厂检测。
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