山武阀门定位器AVP102-H

山武阀门定位器AVP102-H,4-20mA  

湿制程用 传感器、开关、光纤及流量计 光刻胶液位检测 节省空间，可连续安装   放大器内置配管安装型液位开关  型号 HPQ-T□ 光刻胶漏液检测 狭小空间也可安装  放大器内置型漏液开关

冷却装置 循环液漏液检测  不依赖于液体导电率，检测准确 放大器内置型漏液开关  光刻胶的流量测量 小型轻量，不受安装场所、 流体种类限制 热式微小液体流量计  Products   漏液检测  放大器内置型漏液开关/漏液光纤单元 型号 HPQ-D11  HPQ-D12 HPQ-D13  HPQ-D21  HPQ-D22

HPQ-D23  HPQ-DP11    HPQ-DP12 漏液光纤单元型号 HPF-D040  。液位检测  槽内插入型液位检测光纤单元  型号 HPF-D027  HPF-D033 配管安装型液位检测光纤单元  HPF-T034/T034E

放大器内置配管安装型液位检测开关  型号 HPQ-T1 。HPQ-T2 HPQ-T1-002  HPQ-T1-003

HPQ-T1-004 HPQ-T2-005  温度测量  耐化学品温度传感器 型号 YYQZ01 物体检测 P.23

耐化学品光纤单元 型号 HPF-T029/HPF-T035/HPF-D014 流量测量P.24  热式微小液体流量计 型号 F7M P.25 使用上的注意事项 关于PFA耐化学性

【】占空间，可连续安装  指示灯和动作切换开关设置在侧面。 即使连续安装时也能方便地一边确认动作指示灯一边进行调试。适用于多种配管直径   可安装的配管外径为φ1/16英寸、φ3～7mm、φ8～13mm。 安装方法除用捆扎带固定以外，也可使用M3螺钉进行安装。测量50ml/min以下的流量  采用MEMS传感器技术 的热式测量原理，实现了 以往技术难以达到的 「30ml/min」以下的微小 液体流量测量。液温传感器 Rr接头（含氟树脂）将加热器表面温度控制在略高于流体温度的恒定温度。加热器的散热量根据流量而变化。流量越大，由于被流体夺取的热量增加，消耗功率增加。通过测量加热器的消耗功率，可以换算成流量值。 （加热器的散热量很少，不会对流体进行加热）。冷却装置