日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门
真空镀膜:粗抽管路标配
PVD / 光学镀膜机干泵粗抽隔断阀、腔体破空阀、旁路预抽阀,主高真空管路搭配 ABR-J150;
通用工业真空
真空热处理炉粗抽阀、树脂脱泡釜、罗茨 + 干式泵机组前置阀;
光伏 / 普通锂电
非高温烘烤型真空清洗、脱水设备隔离阀;
进口日系设备替换
原装日标 JIS150 法兰,直接替换日本原厂设备旧阀,无需改管路开孔。
JIS150 日标法兰:适配日系原装设备,替换旧阀不用改管路。
优异:O 圈结构,采购、维保成本低于波纹管 ABR 款。
通流大、抽气快:L 型内腔流阻小,缩短腔体预抽时间。
气动运行平稳:气缸自带缓冲,启闭冲击小;可选阀位反馈,方便自动化控制。
FKM 密封耐用:耐水汽耐油,适合中真空粗抽工况。
| 参数 | AER-J150(O 圈款) | ABR-J150(波纹管款) |
|---|---|---|
| 轴封 | FKM 橡胶动密封 | 316L 不锈钢全金属波纹管 |
| 极限真空 | 10⁻⁵Pa 中真空 | 10⁻⁷Pa 高真空 |
| 烘烤 | 不可高温烘烤 | * 200℃腔体除气 |
| 洁净度 | 微量橡胶放气,粗抽使用 | 无塑胶析出,高纯工艺 |
| 定位 | 量产粗抽阀 | 精密设备主抽切断阀 |
