日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200 真空L型阀门

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2026-06-03 10:26:11

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200  真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200  真空L型阀门

MIYUKI 美幸辉 ABR-J200 气动 L 型高真空阀(DN200/JIS 日标法兰・波纹管款)

型号释义

  • ABR:316L 全金属焊接波纹管轴封、高真空 L 阀(无橡胶轴封渗漏)

  • J:JIS B2290 日标螺栓法兰,日系原装设备标配法兰

  • 200:DN200 大通径、90°L 型直角阀体

关键参数

驱动:双作用气动气缸,气源 0.4~0.6MPa 干燥气源;可选 DC24V 电磁阀 + 磁感应开关,PLC 阀位反馈。

密封结构:阀杆全金属波纹管隔离密封、阀座 FKM 氟胶密封,整机漏率≤1×10−8Pa⋅m3/s。

真空等级:大气压~10−7Pa高真空,腔体*200℃高温烘烤除气(AER-O 圈款不可烘烤)。

材质:阀体 SUS304 不锈钢内腔电解抛光,大通流≈920L/s,正反压差均可密封安装。

核心优势

全金属波纹管:无橡胶轴封挥发、低放气,高纯洁净,支持 200℃高温腔体烘烤。

JIS200 日标法兰:适配日系镀膜炉、真空炉原装管路,替换旧阀无需改配开孔。

DN200 大通径:L 型流线腔体流阻低、抽气速率快,缩短腔体预抽时间。

气缸内置缓冲:启闭减震静音、颗粒少,耐用寿命长,适配自动化生产线联控。

双向耐压密封:耐反压性能优异,多用于主抽管路隔断、分子泵前端切断阀。

适用工况

精密 PVD 光学镀膜、半导体、锂电高真空制程、高温真空炉主抽阀、氦检设备主管路阀。

地理位置

产品名称 气动L型阀
操作方法 空气驱动
系列 AB AE
口径 16A~250A
法兰 KF(西北)·JIS・CF
轴密封 风箱 O型圈
气缸
16A~50A
单/双电兼容
气缸
80A~250A
多动
手柄 ――――――
服役周期16A
~50A
5×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s) 1×10-10 下图 1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州) 105 ~ 10-6 105 ~ 10-5
所需气压(MPa G) 0.4 ~ 0.6
材料:主体 SUS304
阀体填充 氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关 选项
耐热工作温度 主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)
产品名称 手动L型阀门
操作方法 手动(旋转手柄)
系列 ABR AER
口径 16A~250A
法兰 KF(西北)·JIS・CF
轴密封 风箱 O型圈
气缸
16A~50A
――――――
气缸
80A~250A
――――――
手柄 铝合金
服役周期16A
~50A
5×105 1×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s) 1×10-10 下图 1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州) 105 ~ 10-6 105 ~ 10-5
所需气压(MPa G) ――――――
材料:主体 SUS304
阀体填充 氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关 ――――――
耐热工作温度 主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)

* 对于空气切换电磁阀,单作用时使用3孔接口,双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格(标准法兰、直径、耐压等)。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。


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