日本MIYUKI美幸辉 AER-J200 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 AER-J200 真空L型阀门
驱动:双作用气动气缸,气源0.4~0.6MPa干燥压缩空气;可选 DC24V 电磁阀 + 磁感应开关,PLC 阀位反馈。
密封:阀杆 FKM 氟橡胶 O 圈动密封、阀座氟胶密封,整机漏率≤1×10−8Pa⋅m3/s,极限真空10−5Pa,*使用 150℃,不可高温烘烤除气。
阀体:SUS304 不锈钢内腔电解抛光,DN200 大通流,通导≈910L/s,正反压差均可密封安装。
JIS200 日标法兰:原装日系设备直替换,管路不用改孔改制。
高:O 圈结构,采购、维保成本远低于同口径波纹管款 ABR-J200,易损件仅 O 圈,更换简便。
大通流低流阻:L 型流线内腔,抽气速率快,大幅缩短腔体粗抽时间。
缓冲气动结构:气缸内置缓冲,启闭冲击小、产尘少,耐用寿命长,适配自动化联控。
FKM 耐腐密封:耐水汽、切削油、微量工艺气体,适配量产粗抽恶劣工况。
| 型号 | 密封形式 | 真空等级 | 烘烤 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
| AER-J200 | O 圈密封 | 中真空10−5Pa | ≤150℃不可烘烤 | 粗抽阀、破空阀、干式泵前置隔断 |
| ABR-J200 | 金属波纹管 | 高真空10−7Pa | 200℃可烘烤 | 主抽阀、分子泵入口、高纯工艺管路 |
