货存 PFEIFFER VACUUM普发 HiPace 800 纯涡轮式分子真空泵

来源:山金工业(深圳)有限公司
发布时间:2026-07-30 11:56:49

可靠

同类产品中*的混合轴承技术,*的轴承润滑,使用寿命长

高气体流量

高抽速,与多种前级泵兼容,对轻质气体具有*的压缩比

性能*

优化转子几何形状,提高气体负载处理能力技术规格

ISO
技术参数 HiPace 800,搭配 TC 400
氢气抽速 580 l/s
氦气抽速 700 l/s
氩气抽速 780 l/s
氮气抽速 790 l/s
氢气压缩比 4 · 10⁵
氦气压缩比 3 · 10⁷
氩气压缩比 1 · 10¹¹
氮气压缩比 1 · 10¹¹
*终转速下的氢气气体流量 14 hPa l/s
*终转速下的氦气气体流量 20 hPa l/s
*终转速下的氩气气体流量 3.5 hPa l/s
*终转速下的氮气气体流量 6.5 hPa l/s
适用于氮气的*前级真空 11 hPa
启动时间 2 *小
可选通信接口 Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74
标准通信接口 RS-485,远程
安装方向 任意
声压级(EN ISO 2151) 50 dBA
重量(约) 12.8 kg
进气口 DN 200 ISO-K/ISO-F/CF-F
排气口 DN 25 ISO-KF /G 1/4"

二、核心产品体系

拥有全系列真空相关产品,覆盖多场景应用需求:

  • 核心泵类‌:混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵、旋片泵、干泵、罗茨泵等,其中HiPace系列涡轮分子泵是高真空场景的经典产品。
  • 检测分析设备‌:氦气质谱检漏仪、真空规、四级质谱仪、残余气体分析仪等,可实现高精度的真空系统检测与气体成分分析。
  • 定制化方案‌:可提供模块化或定制化真空室、配套阀门管件,以及即插即用的预配置真空系统套件,降低用户部署门槛。

三、主要应用领域

产品广泛适配多个对真空环境要求严苛的行业:

  • 半导体行业‌:专为晶圆制造等工艺设计,*推出的UltiDry系列多级罗茨真空泵可满足半导体产线的高能效、高稳定性需求。
  • 科研领域‌:为粒子加速器、同步辐射光源、空间模拟设施、高校实验室等提供高真空解决方案,已和德国航空航天中心(DLR)等*科研机构达成长期合作。
  • 其他工业场景‌:覆盖分析仪器、真空镀膜、太阳能光伏、低温工程、光子学研究等多个领域。
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