直发 PFEIFFER VACUUM普发 HiPace 800 P 复合式涡轮分子真空泵

二、核心产品体系

拥有全系列真空相关产品，覆盖多场景应用需求：

• ‌核心泵类‌：混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵、旋片泵、干泵、罗茨泵等，其中HiPace系列涡轮分子泵是高真空场景的经典产品。
• ‌检测分析设备‌：氦气质谱检漏仪、真空规、四级质谱仪、残余气体分析仪等，可实现高精度的真空系统检测与气体成分分析。
• ‌定制化方案‌：可提供模块化或定制化真空室、配套阀门管件，以及即插即用的预配置真空系统套件，降低用户部署门槛。

三、主要应用领域

产品广泛适配多个对真空环境要求严苛的行业：

• ‌半导体行业‌：专为晶圆制造等工艺设计，*推出的UltiDry系列多级罗茨真空泵可满足半导体产线的高能效、高稳定性需求。
• ‌科研领域‌：为粒子加速器、同步辐射光源、空间模拟设施、高校实验室等提供高真空解决方案，已和德国航空航天中心（DLR）等*科研机构达成长期合作。
• ‌其他工业场景‌：覆盖分析仪器、真空镀膜、太阳能光伏、低温工程、光子学研究等多个领域。