NFK 南国工业 NK-2300PT 管端式微型真空柔性软管

NK-2300PT实物图

一、基础产品信息

：NFK 南国フレキ工業（南国工业）型号：NK-2300PT全称：Pipe End 微型管端真空波纹管定位：设备内部微小真空支路小型真空软管，两端直光管结构，适配卡套接头，用于半导体精密设备、实验室小型仪器狭小空间配管，吸收安装误差、热胀位移、泵体振动；同系列区分：2300PT 微型小管、2300KF KF 快拆法兰、2300V JIS 大型真空法兰。

NK-2300PT结构图纸

二、材质结构（低放气真空）

1. 波纹管主体：CLT 柔性波纹，标准 SUS316L 全系列，无外层不锈钢编织网，大幅降低真空放气率，保障腔体洁净度。

2. 两端连接端头：一体成型 SUS316L 光管直管段，可直接搭配标准卡套 / 嵌入接头，无需法兰焊接。

3. 整体无缝氩弧熔焊，无夹层、无渗漏缝隙，氦检高密封标准。

三、核心技术参数

1. 标准管径：φ3.18、φ6.35、φ9.52、φ12.7mm（*小内径 3.5mm 微型规格）

2. 定制长度：100mm～3000mm 任意长度定制

3. 压力区间：全真空 (FV)～0.3MPa

4. 极限氦漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/Sec，高真空等级密封

5. 使用温度：-196℃ ~ +300℃，兼容深冷低温与高温真空工况

6. 适配介质：干燥氮气、氩气、洁净空气、纯水；仅适配不腐蚀不锈钢流体

7. 使用限制：仅可补偿轴向、横向、角向位移，无法吸收管道扭转应力，安装禁止强行拧转软管

四、产品核心优势

1. 微型小管径设计，适配设备高密度狭小布线业内*小口径真空柔性波纹管，半导体机台内部狭小腔体、小型阀门、微量气路紧凑安装场景，节省设备内部空间。

2. 两端光管直插卡套接头，装配灵活无法兰限制无需真空法兰、无需焊接，搭配标准不锈钢卡套接头即可快速装配，改造设备、定制小型管路适配性极强。

3. SUS316L 全不锈钢一体结构，耐高低温、耐腐蚀覆盖零下液氮低温至 300℃高温真空，耐微量工艺腐蚀气体，无金属离子析出，满足半导体高洁净制程要求。

4. CLT 软波纹，减震位移吸收性能优异极小弯曲半径，有效缓冲干泵、分子泵振动，避免精密真空腔体共振；补偿管路加工、装配对位误差与温度热胀冷缩。

5. 无编织网低放气构造，高真空洁净无粉尘无编织层、无橡胶配件，真空环境气体析出量极低，不会污染镀膜、刻蚀精密腔体内部。

6. 一体焊接零泄漏，长期真空工况稳定保压波纹管与管端无缝熔焊，无漏气隐患，长时间高真空运行不会出现真空度衰减。

五、NK-2300 真空全系列型号对比

表格

六、典型应用场景

1. 半导体设备：晶圆传送腔体 EFEM、刻蚀 / 镀膜设备内部微量工艺真空支管、小型真空阀连接段

2. 实验室精密仪器：扫描电镜 SEM、质谱仪、小型真空测试平台微型气路

3. 光学设备：小型蒸镀、溅射机内部狭小真空配管

4. 微型真空泵、微型分子泵进出口减震补偿管路

5. 低温真空设备、真空热处理小型实验腔体柔性配管

七、选型与使用注意事项

1. 介质限制：不可输送卤素、强酸等会腐蚀不锈钢的腐蚀性气体；

2. 安装预留充足弯曲余量，严禁扭转、强行拉扯波纹管校正管道错位；

3. 装配卡套接头时均匀锁紧，防止单边挤压导致管路变形漏气；

4. 深冷 / 高温真空工况统一选用 SUS316L 材质，不可替换普通 SUS304；

5. 管路装配完成后必须做氦检检漏，保证真空密封性。