EBARA 荏原 EV‑A10‑3S五级罗茨风冷干式无油真空泵玉崎科学仪器原装现货供应
来源：玉崎科学仪器（深圳）有限公司
发布时间：2026-09-30 10:14:47
玉崎科学仪器（深圳）有限公司新一批EBARA 荏原 EV‑A10‑3S五级罗茨风冷干式无油真空泵 已完成入库、检验、上架工作，目前库存充足，可正常接单、发货。
EBARA 荏原 EV‑A10‑3S五级罗茨风冷干式无油真空泵
EV‑A10‑3S：三相 AC200‑240V，五级罗茨风冷干式无油真空泵；同本体单相版本 EV‑A10‑2S。泵本体、抽速、真空、接口完全一致；仅电机供电规格不同；半导体 Load‑lock、镀膜、科研腔体预抽，风冷免冷却水。
型号后缀释义
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EV‑A10：泵本体型号，5 级非接触罗茨干式泵
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3S = 3‑Phase 三相 AC200‑240V 50/60Hz
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2S = 单相 AC200‑240V
完整规格参数
| 项目 | EV‑A10‑3S |
|---|---|
| 泵结构 | 五级非接触罗茨干式真空泵，无油 |
| *抽速 | 1000 L/min（60 m³/h） |
| 大气压抽速 | 800 L/min |
| 极限真空（气镇 OFF） | 1.0 Pa |
| 极限真空（气镇 ON） | 2.0‑3.0 Pa |
| *水蒸气处理量 | 500 g/h（气镇开启） |
| 进气接口 | NW40(KF40) |
| 排气接口 | NW25(KF25) |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需冷却水 |
| 供电规格 | 三相 AC200‑240V，50/60Hz，电压允许 ±10% |
| 电源容量 | 3.0 kVA |
| 极限真空运行功率 | 1.1 kW |
| 噪音 | ≤58 dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344 mm |
| 整机重量 | 75 kg |
| 标配 | 带锁脚轮 + 调平底座、内置气镇阀、进气过滤器；远程 I/O 报警、启停信号 |
| 合规 | CE、SEMI‑S2、NRTL |
核心特点
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五级非接触罗茨转子，泵腔与齿轮润滑腔隔离；无油，无返油污染，适合洁净腔体、Load‑lock 预抽、分子泵前级泵。
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风冷结构，不用冷却水，无漏水风险，无尘车间直接摆放。
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自带可开关气镇阀，处理水汽、少量溶剂蒸汽；不直接处理强腐蚀工艺气体，可选氮气吹扫选配套件。
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具备 PLC 远程 I/O 接口：运行、故障报警、远程启停，方便集成设备控制系统。
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消耗件少：仅进气过滤器定期更换；齿轮油 20000 小时更换，转子非接触几乎无磨损。
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仅作为前级粗抽泵，极限 1Pa，不能直接实现高真空；需搭配分子泵获得高真空。
典型应用
半导体 Load‑lock 腔体预抽、PVD 镀膜机前级、等离子清洗、科研真空腔体、真空干燥、锂电真空脱气、频繁破真空工况。
可选配件
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耐蚀氮气吹扫套件：轻微腐蚀性工艺气体
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排气消音器、油雾捕集器
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进气粉尘过滤器.
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负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸
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