日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C100 +MS-PC

阀体核心技术参数

1. 真空密封性能

• 工作真空区间：常压～1×10−5Pa，适配高真空腔体大流量缓破真空、工艺载气*配比稳压；

• 泄漏指标：阀体内漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，阀杆外漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，满足半导体、镀膜设备氦检验收标准；

• 材质：阀体 / 蝶板 SUS304 不锈钢，CF 刀口金属密封；标配 FKM 氟橡胶轴封，可升级 Kalrez 全氟密封圈；使用温度℃～℃，支持腔体高温除气烘烤，兼容 N₂、Ar 等惰性特种工艺气体。

2、产品结构优势

伺服直驱无齿轮减速结构，零回程间隙，大通径微小开度进气线性平稳，设定档位机械自锁、阀位无漂移，量产工艺一致性优异；

CF100 标准刀口法兰，金属硬密封耐高温、低放气低出气率，是大型高真空设备主管标配连接形式；

阀内无外露摩擦构件、低发尘洁净结构，适配无尘半导体产线；断电电磁抱闸自锁当前阀位，防止大型腔体骤然大进气，避免整炉工件报废污染；

阀体安装无方位限制，卧式 / 立式 / 侧向均可装配，启闭运行静音；内置*值原点传感器，断电重启自动原点校准，无需人工反复开度。

典型应用场景（CF100 大口径）

卷绕式光学 / ITO 镀膜机、大型电子束蒸镀设备：主进气主管分段阶梯缓破空，规避卷材膜层氧化、针孔缺陷；

大容量锂电真空烧结炉、真空脱泡生产线：大流量分段梯度泄压，防止电解液、极片飞溅；

半导体 PVD、等离子清洗、离子注入大型腔体：工艺载气大流量*配比、腔体稳压控压；

工业钎焊真空炉、大型成套氦检负压设备：主管路定点升压、分段工艺调试。

同口径选型对照

成套型号	控制方式	配套电控	适用工况
BAZ-C100+MS-PC	00~99 数字档位定点	MS-PC	CF 刀口法兰、高真空、固定分段进气量产工艺
BAR-C100+MS-VP	0~10V 模拟无级连续调压	MS-VP	CF 法兰高真空、闭环动态实时稳压控制

控制器型号	MS-PC
适用的开口规范阀门类型	巴兹加兹
面板显示	4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作	电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出	开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出	准备，移动，打开，关闭
输入电源	电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1	数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）	110毫米×130毫米×141毫米
质量	1公斤
配件	支架
有线电视（单独出售）*2	电机电缆 编码线 电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。

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