MIYUKI 美幸辉 BAZ-C100 单阀体（DN100 CF100 刀口法兰 数字定点电动真空蝶阀）

型号拆解

• BAZ：档位定点型电动蝶阀，00～99 共 100 档固定开度、机械锁止定位，配 MS-PC 控制器（不可混用 BAR 阀 MS-VP）

• C：CF 高真空刀口法兰（金属密封、可高温烘烤除气）

• 100：DN100 公称通径、CF100 标准法兰尺寸

核心真空参数

真空适用：常压→1×10−5Pa（高 / 高真空工况）

泄漏指标

• 阀体内部泄漏：≤1×10−9Pa⋅m3/s

• 阀杆外泄漏：≤1×10−10Pa⋅m3/s，满足半导体氦检标准

  材质：阀体 + 蝶板 SUS304 不锈钢；标配 FKM 氟橡胶轴封，可选 Kalrez 全氟密封圈

  使用温度：阀体℃～℃，电机环境≤40℃，支持腔体高温除气烘烤

  介质：N₂、Ar 等惰性工艺气体、干燥洁净空气

结构特点

伺服电机直驱无齿轮减速，零回程间隙，小开度进气线性稳定，档位设定后机械自锁无阀位漂移

断电电磁抱闸锁止阀位，停机保开度，防止腔体瞬间大量进气污染工件

内置*值原点传感器，断电重启自动回原点，无需人工开度

无外露摩擦结构、低发尘洁净设计，适配无尘镀膜 / 半导体产线；安装无方向限制（立 / 卧 / 斜装均可）、启闭低噪音

配套电控（选配 MS-PC）

• 供电：DC24V，二位数码拨码设定 00~99 开度，本地 + PLC 二进制开关量远程控制

• 反馈：就绪 / 运行 / 全开 / 全关四路无源触点信号，对接设备联锁

适用场景

大型卷绕镀膜机主破真空阀、大容量锂电真空烧结炉、PVD 离子注入腔体、大型科研高真空试验舱、工业真空钎焊炉分段梯度泄压 / 工艺进气。

控制器型号	MS-PC
适用的开口规范阀门类型	巴兹加兹
面板显示	4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作	电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出	开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出	准备，移动，打开，关闭
输入电源	电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1	数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）	110毫米×130毫米×141毫米
质量	1公斤
配件	支架
有线电视（单独出售）*2	电机电缆 编码线 电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。

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