日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

风冷无油干式真空泵怎么选？ULVAC CR16B / 30B / 60B-S / 60B-T / 300B，抽速覆盖16~300m³/h，无需冷却水/氮气，溅射/蒸发/真空干燥

干式泵非要接水接气？风冷无油才是真省心

溅射镀膜、蒸发镀膜、真空干燥、洁净气体排气——这些场景需要的是洁净无油的干式真空泵。很多工程师选干式泵默认要接冷却水和氮气，厂务条件不满足就放弃，被迫用油泵污染腔体。

更隐蔽的坑：CR系列分 CR60B-S 和 CR60B-T 两种型号——S为单相200V，T为三相200V。选型时不注意电源规格，买回去电压对不上，要么退货要么加变压器。还有，CR系列气镇阀为选配件，需要抽除水蒸气的工艺必须提前选配，不然后期加装麻烦。

ULVAC CR16B / CR30B / CR60B-S / CR60B-T / CR300B 多级罗茨型干式真空泵，风冷设计，无需冷却水和氮气。泵头内部完全无油，转子与气缸无接触运行，符合CE、cTUVus国际标准。

五款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE

注：极限压力为无气镇气体时的测量值。
注：*耐水蒸气量为使用气镇时的数值，水蒸气排气时务必使用气镇机构。*
⚠️ 关键提醒：CR60B-S为单相200V，CR60B-T为三相200V**。选型时务必确认现场电源规格！

一、CR16B：小型风冷干泵，洁净排气/实验室标配

CR16B *抽速 16 m³/h（280 L/min） ，极限压力 ≤ 3.0 Pa。适合小腔体、对洁净度要求高的场景——实验室真空系统、小型溅射设备、分析仪器。

• 电机功率仅 0.72 kW，能耗极低

• 重量仅 35 kg

• 吸气/排气口径均为 KF25

• 电源可选：单相100V/200V 或 三相200V

• 风冷设计，无需冷却水和氮气

• 可选配气镇机构，用于抽除水蒸气

• *耐水蒸气量 < 300 g/h

适合谁：实验室真空系统、小型溅射设备、蒸发镀膜设备、分析仪器、洁净气体排气。

二、CR30B：中型风冷干泵，单相200V

CR30B *抽速 30 m³/h（500 L/min） ，极限压力 ≤ 3.0 Pa。抽速比CR16B提升近一倍，适合中等规模真空设备——中型溅射机、蒸发镀膜机、真空干燥箱。

• 电机功率 0.72 kW

• 重量 35 kg

• 吸气/排气口径均为 KF25

• 电源：单相200V——现场只有单相电的*选择

• 风冷设计，无需冷却水和氮气

• *耐水蒸气量 < 300 g/h

适合谁：中型溅射设备、蒸发镀膜设备、真空干燥箱、洁净气体排气系统。

三、CR60B-S / CR60B-T：中大型风冷干泵，抽速55m³/h

CR60B-S / CR60B-T *抽速 55 m³/h（920 L/min） ，极限压力 ≤ 3.0 Pa。抽速是CR30B的近两倍，适合大腔体、高抽速需求的洁净真空场景——大型溅射机、蒸发镀膜机、真空干燥设备。

• 电机功率 1.5 kW

• 重量 48 kg

• 吸气/排气口径均为 KF40

• *耐水蒸气量 < 500 g/h

CR60B-S vs CR60B-T 核心区别：

• CR60B-S：单相200V电源

• CR60B-T：三相200V电源

适合谁：大型溅射设备、大型蒸发镀膜设备、真空干燥设备、半导体制造辅助设备。

四、CR300B：工业级大抽速风冷干泵，300m³/h

CR300B *抽速 300 m³/h（5000 L/min） ，极限压力 ≤ 0.5 Pa。CR系列*号，极限压力比小号型号低一个数量级，适合对极限压力要求更高的大腔体场景——大型真空镀膜生产线、半导体制造设备、大型真空干燥系统。

• 电机功率 3.0 kW

• 重量 100 kg

• 吸气口径 KF50，排气口径 KF40

• 电源：三相200V

• *耐水蒸气量 < 500 g/h

适合谁：大型真空镀膜生产线、半导体制造设备、大型真空干燥系统、工业级洁净排气。

五、CR系列共同优势：风冷无油 + 无需水/氮气 + CE/cTUVus

CR系列是ULVAC多级罗茨型风冷干式真空泵，获得国际标准（CE、cTUVus）。五大核心优势：

• 完全无油：泵头内部无油，转子与气缸无接触运行，确保稳定运行并延长使用寿命

• 风冷设计，无需冷却水和氮气：大幅降低运行成本和基础设施要求

• 低功耗、密封性好、重量轻：安装DC密封电机实现节能、气密和减重

• 可抽除水蒸气：通过选配气镇机构（针阀或电磁阀+针阀）可抽除水蒸气

• 符合国际标准：CE、cTUVus，全球通用

选配件丰富：气镇机构（针阀/电磁阀+针阀）、橡胶脚垫、消音器（RS-01系列/简易型）、隔音罩、电源兼容箱（Ver.A→Ver.B）。

六、工程师选型避坑：CR系列怎么选

选型三步法：

1. 算抽速：小腔体/实验室 → CR16B（16 m³/h）；中型设备 → CR30B（30 m³/h）或CR60B（55 m³/h）；大型设备/高要求 → CR300B（300 m³/h，极限压力0.5Pa）

2. 看电源：现场单相100V → CR16B（可选）；单相200V → CR16B或CR30B或CR60B-S；三相200V → CR16B或CR60B-T或CR300B

3. 确认是否需要抽水蒸气：需要抽水蒸气 → 必须选配气镇机构（针阀或电磁阀+针阀）

*不能做的事：

• 不选配气镇机构就抽水蒸气——水蒸气在泵内凝结，损坏泵体

• CR60B-S（单相）接三相电 / CR60B-T（三相）接单相电——烧电机

• 抽腐蚀性气体或含粉尘气体——CR系列设计用于清洁气体（空气、惰性气体）

• 极限压力不达标时以为是泵的问题——确认是否关闭了气镇阀再测（极限压力是无气镇气体时的值）

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：CR16B / CR30B / CR60B 常用规格 现货；CR300B 订货 3~4周

• 配套一站式采购：气镇机构（针阀/电磁阀+针阀）、消音器（RS-01系列/简易型）、橡胶脚垫、隔音罩、电源兼容箱

• 技术支持：免费提供抽速计算、电源规格确认、气镇机构选配建议、安装指导、故障远程排查

八、落地适配全场景

• 真空镀膜：溅射设备、蒸发镀膜设备

• 真空干燥：真空干燥设备抽除水蒸气（需使用气镇）

• 洁净气体排气：空气、惰性气体等清洁气体抽真空

• 半导体制造：辅助真空系统

• 研发实验：实验室真空系统

九、结尾转化

风冷无油干式泵选型怕电源搞错、怕水蒸气排不了？

ULVAC CR16B / 30B / 60B-S / 60B-T / 300B 多级罗茨型干式真空泵，深圳京都玉崎现货/订货直发，配套气镇机构及消音器同步供应，工程师可协助出具《CR系列选型确认表》。

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