玉崎现货NFK南国工业株式会社标准自由式膨胀节V-KF-S

KF标准法兰

日本NFK南国工业（南国フレキ工業）V-KF-S 属于 ISO-KF（NW/QF）标准快拆真空法兰式不锈钢金属柔性软管（KF Flange Type Vacuum Flexible Hose），是NFK真空配管产品线中专为高真空/低真空系统、真空泵组与腔体间柔性过渡连接、仪器气体采样管路设计的标准组件，采用CLT（柔性）环形波纹管结构以极小弯曲反力适应真空腔体周边狭窄空间的配管布局，同时通过ISO-KF快拆卡箍实现免焊、可旋转、快速拆装。

结构与材质：挠性元件为SUS304不锈钢CLT型（柔性）环形波纹管（高纯或腐蚀性气氛可选SUS316L，内壁电解抛光Ra≤0.8μm款用于半导体前道），波距小、壁薄、轴向刚度极低，可在小弯曲半径下吸收安装对中误差与设备微振动而不对法兰产生过大推力；波纹管两端通过自动TIG全熔透焊接与ISO-KF标准法兰（KF10/KF16/KF25/KF40/KF50，对应公称尺寸10～50）一体成型，法兰材质SCS13(SUS304)或SCS16(SUS316L)，密封面为精密加工刀口（Knife Edge）；标配KF定心环（Center Ring/O-ring Holder）＋FKM(Viton) O型圈（标准－15～＋150℃）或硅橡胶/金属密封圈（高温/高真空型－40～＋200/450℃）＋铝/不锈钢卡箍，KF法兰可360°旋转便于现场对孔无需旋转整根软管。出厂逐台经氦质谱检漏（Leak Rate ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s 或 ≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s）。

规格参数：公称口径KF10(DN10)／KF16／KF25／KF40／KF50（尺寸范围10～50），有效长度100mm～3,000mm（含两端法兰面，可依配管定制）；工作压力高真空(FV)～*0.1MPa（正压上限），使用温度依密封件——FKM －15～＋150℃、Silicone －40～＋200℃、金属密封 －40～＋450℃（短时烘烤除气）；适用流体为干燥空气、N₂、Ar、He等不腐蚀不锈钢的气体（含微量惰性工艺气），不可用于含卤素/强酸冷凝液长期接触FKM。允许轴向位移约±(5%～8%)×有效长度，可吸收少量横向偏移与角向不对中，严禁承受扭转力矩（KF法兰旋转设计即为此目的，波纹管本体不得拧转）。

性能特点与用途：CLT柔波纹管使V-KF-S在真空系统紧凑腔体周边易弯曲且反作用力极小，全焊接无垫片结构（法兰密封靠KF O型圈/金属垫）泄漏率极低，广泛用于真空镀膜/溅射/PECVD设备泵组与腔体柔性过渡、分子泵/罗茨泵前级管路隔振、SEM/TEM等分析仪器气路柔性连接、科研大型真空系统搭建、真空干燥/烧结炉抽气支管。安装时KF卡箍用扳手适度锁紧（铝卡箍勿过扭矩致变形），邻近设适当固定/导向支架限制异常拉扯，首次抽真空建议按规程进行烘烤除气（依密封材料）。全SUS316L＋低析出电解抛光内型可选用于半导体高纯/低析出要求场合。

V-KF-S以NFK日本制CLT柔波纹管TIG全熔焊工艺、ISO-KF快拆法兰适配及高真空氦检漏保证，成为真空工艺系统中"低泄漏＋隔振＋位移补偿＋快装对位"的关键柔性元件，与NK-2300V（JIS真空法兰型）、V-KF-P（KF对心环配件）、V-KF-B（KF盲板）等形成真空配管模块化覆盖。