日本爱发科ULVAC PRC-036C机械增压泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC PRC-036C机械增压泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC PRC-036C机械增压泵 深圳京都玉崎现货

半导体/液晶洁净工艺罗茨泵怎么选？ULVAC PRC-036C，抽速覆盖280~2700m³/h，屏蔽电机零漏油，洁净室

开篇：普通罗茨泵用在洁净室，漏油一次整批报废

半导体刻蚀、液晶面板制造、PVD/CVD——这些场景对洁净度的要求是零容忍。普通机械增压泵（罗茨泵）的轴封处存在漏油风险，一旦油污染进入腔体，整批晶圆或面板直接报废。很多工程师选罗茨泵只看抽速，忽略了密封方式和洁净度适配性。

更隐蔽的坑：PRC系列采用屏蔽电机（Canned Motor） ，电机与泵体之间没有机械密封，从根本上杜绝了轴封漏油。而市面上很多普通罗茨泵依然使用传统机械密封，长期运行后密封老化漏油，洁净室环境根本无法接受。选型时不看电机类型，把普通罗茨泵装进洁净室，漏油风险等同于定时炸弹。

ULVAC PRC-003A / PRC-006A / PRC-012A / PRC-018A / PRC-036C 机械增压泵（罗茨泵），专为对清洁度有特别要求的半导体和液晶制造工艺设计。采用屏蔽电机，轴封零漏油；泵腔内无油，处理水蒸气/溶剂蒸气时性能稳定。抽速覆盖280~2700 m³/h，可选大气压启动型（选配变频器）缩短排气时间。

五款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE

注1：极限压力为皮拉尼真空计测定值。
注2：PRC-036C通常作为UR/HR/LR系列组合机型的机械增压泵部分使用（如UR3601-TT配PRC-036C-T），*抽速2700 m³/h。

一、PRC-003A：小型洁净罗茨泵，半导体/液晶工艺入门标配

PRC-003A *抽速 280 m³/h（50Hz）/ 330 m³/h（60Hz） ，极限压力 4.0×10⁻¹ Pa。适合小腔体、对洁净度有严格要求的半导体/液晶制造场景。

• 电机功率 0.75 kW（2极） 

• 重量仅 51 kg，PRC系列*轻

• 外形尺寸 296×575×260 mm，*紧凑

• 油量 0.7 L，使用 ULVOIL R-42 / SMR-100

• 冷却水流量 2 L/min，温度 5~30℃

• 吸气口径 VG80相当 / ISO80F(可选)

• 标准前级泵：VD601

适合谁：小型半导体制造设备、液晶面板工艺腔体、分析仪器、检漏系统、真空干燥。

二、PRC-006A：中型洁净罗茨主力，抽速500m³/h

PRC-006A *抽速 500 m³/h（50Hz）/ 600 m³/h（60Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。抽速接近PRC-003A的两倍，适合中等规模洁净真空系统。

• 电机功率 2.2 kW（2极） 

• 重量 86 kg

• 外形尺寸 356×619×320 mm

• 油量 1.5 L

• 冷却水流量 3 L/min

• 吸气口径 VG80 / ISO80F(可选)

• 标准前级泵：VD901

适合谁：中型半导体制造设备、液晶面板制造、溅射设备、蒸镀设备、离子镀。

三、PRC-012A：中大型洁净罗茨，1000m³/h大抽速

PRC-012A *抽速 1000 m³/h（50Hz）/ 1200 m³/h（60Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。抽速是PRC-006A的两倍，适合大腔体洁净真空系统。

• 电机功率 3.7 kW（2极） 

• 重量 118 kg

• 外形尺寸 406×759×340 mm

• 油量 1.9 L

• 冷却水流量 3 L/min

• 吸气口径 VG100 / ISO100F(可选)

适合谁：大型半导体制造设备、大型液晶面板产线、真空干燥机、冷冻干燥机、真空脱气。

四、PRC-018A：大型洁净罗茨，1500m³/h高抽速

PRC-018A *抽速 1500 m³/h（50Hz）/ 1800 m³/h（60Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。PRC-A系列*单台型号，适合大型洁净真空系统。

• 电机功率 5.5 kW（2极） 

• 重量 150 kg

• 外形尺寸 406×989×340 mm

• 吸气口径 VG150 / ISO160F(可选)

适合谁：大型半导体制造设备、大型液晶面板产线、真空热处理炉、熔炼炉。

五、PRC-036C：组合机型用大型罗茨，2700m³/h

PRC-036C 通常作为UR/HR/LR系列组合机型的机械增压泵部分使用。例如UR3601-TT干式真空泵机组即配备PRC-036C-T机械增压泵，*抽速 2700 m³/h。

• 适用于大型半导体制造、液晶面板产线

• 可带气镇功能（可询价）

• PRC-036C(T)、PRC-036D等子型号对应不同配置

适合谁：大型半导体/液晶制造产线、UR3601-TT等大型干式泵机组的组成部分。

六、PRC系列共同优势：屏蔽电机零漏油 + 无油泵腔 + 耐腐蚀表面处理

PRC系列是ULVAC专为半导体和液晶制造工艺设计的机械增压泵。五大核心优势：

• 屏蔽电机（Canned Motor），零漏油：采用屏蔽电机，无需在大气与真空之间使用机械密封，从根本上杜绝轴封漏油。可在无油泄漏顾虑的清洁环境中使用

• 无油泵腔：泵腔内无润滑油，即使在抽取水蒸气或溶剂蒸气时也能保持稳定性能

• 优异的耐腐蚀表面处理：主要部件采用阳极氧化涂层，提高表面硬度和耐腐蚀性，防止泵内部划伤和腐蚀。可选不进行表面处理的版本

• 大气压启动型（选配变频器） ：可与前级泵同时启动，较标准型号缩短抽气时间

• 工作压力范围宽：与前级泵配合使用，可在 10 kPa 到 0.1 Pa 范围内显著提升抽速

七、工程师选型避坑：PRC系列怎么选

选型四步法：

1. 确认洁净度要求：半导体/液晶/洁净室应用 → PRC系列（屏蔽电机零漏油）；一般工业应用（无洁净要求）→ PMB系列（通用机械增压泵）

2. 算抽速：小腔体（280 m³/h级）→ PRC-003A；中型（500 m³/h级）→ PRC-006A；大型（1000 m³/h级）→ PRC-012A；大型（1500 m³/h级）→ PRC-018A；组合机型配套 → PRC-036C

3. 确认前级泵匹配：前级泵抽速应为PRC泵设计抽速的 1/3 ~ 1/8。PRC-003A标准前级泵为VD601，PRC-006A标准前级泵为VD901

4. 确认冷却水条件：PRC系列全系水冷，需确认厂务冷却水供应（流量≥2~3 L/min，温度5~30℃）

*不能做的事：

• 在洁净室使用普通机械密封罗茨泵——漏油风险不可接受

• PRC系列不接冷却水运行——过热损坏

• 前级泵抽速不匹配（小于PRC泵抽速的1/8或大于1/3）——无法正常工作或效率低下

• 忽视选配大气压启动型——如需缩短排气时间，应选配变频器大气压启动型

• 用错油品——必须使用ULVOIL R-42或SMR-100

八、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：PRC系列 订货4~6周

• 配套一站式采购：ULVOIL R-42/SMR-100油、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、变频器（大气压启动型选配）

• 技术支持：免费提供前级泵匹配计算、洁净室选型建议、冷却水条件评估、安装指导

九、落地适配全场景

• 半导体制造：刻蚀、CVD、PVD工艺

• 液晶/平板显示：FPD制造、液晶注入

• 真空镀膜：蒸镀、溅射、离子镀

• 真空干燥：真空干燥机、冷冻干燥机、真空脱气

• 分析仪器：分析设备、检漏系统

• 热处理：热处理炉、熔炼炉

• 其他：气体置换、充填、真空绝热

十、结尾转化

半导体/液晶洁净罗茨泵选型怕漏油、怕前级泵配不对？

ULVAC PRC-003A / 006A / 012A / 018A / 036C 机械增压泵，深圳京都玉崎订货直发，屏蔽电机零漏油，工程师可协助出具《PRC系列选型确认表》及前级泵匹配方案。

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