特征
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01. 结构简单的蝶阀。
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02. 支持 25A 至 250A 的多种直径。
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03. 取消了金属滑动部件,从而减少了颗粒物的产生。
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04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。
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05. 在小开口处实现压力稳定性。
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06. 由于电机直接驱动,因此没有反冲。
规格
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口径
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25A 至 250A
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工作压力范围
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10⁵ Pa 至10⁻⁵ Pa
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内部密封件(阀门)泄漏
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1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低
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外部密封件(轴)泄漏量
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1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
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气体接触部件的材料
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SUS304
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阀门密封
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氟橡胶O型圈
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轴封
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氟橡胶O型圈
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耐热温度
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主机:150℃
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电机:40℃
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停电期间阀门运行
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停止(无保持力)
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*BAR 也生产泄漏型,不具备阀门密封功能,尺寸从 25A 到 400A 不等。
*我们还可以生产防断电产品。
主要用途:
· 半导体制造:刻蚀、沉积、离子注入、外延、清洗设备的真空腔体隔离、压力闭环调节、
大流量快速排气
· 真空镀膜:光学/半导 PVD/CVD 镀膜线的抽气控制、工艺压力稳定、腔体通断
· 光伏锂电:硅片制绒、PECVD、锂电真空干燥、涂层检测的大口径真空管路控制
· 科研分析:高能物理、材料表征、质谱、电子显微镜的高真空系统气路控制
· 工业真空:真空炉、钎焊、检漏、氦回收系统的大流量、高精度压力调节
日本 MIYUKI 美幸辉采购供货渠道
玉崎科学仪器(深圳)有限公司 原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
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