进口日本KOFLOC小岛EX-550M 质量流量控制器

进口日本KOFLOC小岛EX-550M 质量流量控制器

    日本 KOFLOC小岛推出 EX‑550M 全金属数字质量流量计，作为 EX‑550 系列的测量型产品，主打高纯气体高精度流量监测，面向半导体、科研实验、新能源、精细化工等行业，为气体管路的流量采集提供可靠解决方案。

    EX‑550M 为无阀式质量流量计，不配备控制阀门，专注实现气体流量*测量与数据输出，采用热绕组式传感器，全金属密封结构，氦泄漏率可达 1×10⁻¹¹Pa・m³/s 以下，气体接触流道选用 SUS316L 材质，适配高纯、腐蚀性特种气体工况，满足洁净工艺对气密性的严苛要求。产品量程覆盖 10SCCM‑5SLM，测量精度可达 ±1.0% SP（25‑* FS），重复性 ±0.2% FS，全量程响应速度控制在 1 秒以内，能够快速捕捉管路流量变化，降低压力波动带来的测量偏差科。

    设备集成模拟量与 RS485 数字通讯，支持 0‑5VDC、4‑20mA 信号输出，可输出瞬时流量与累计流量数据，支持旋转开关切换多种目标气体类型，适配氮气、空气、氢气、氩气、氧气、二氧化碳等常用工艺气体，兼容 SEMI 标准安装尺寸，采用 D‑sub9 针通用连接器，便于设备集成与现场接线，整机通过 CE、RoHS 合规，可适配自动化产线搭建。

    在应用层面，EX‑550M 适用于气体管路流量监测、气源计量、工艺废气检测、实验室配气系统、燃料电池测试、催化反应实验等场景。可搭配手动阀或外置控制器完成气体调节，实现流量数据的实时采集与远程监控，特别适合需要只做监测、不做闭环控制的工艺点位，弥补了传统流量计在高纯气体工况下的短板。

    该机型延续 KOFLOC 精密流量仪器的制造工艺，结构紧凑、体积小巧，耐压可达 980kPa，安装姿态无特殊限制，可灵活适配各类实验设备与工艺机柜，助力用户提升气体计量数据的可靠性，为半导体研发、新能源测试、化工实验等领域提供稳定的流量监测硬件支撑。