EBARA 日本荏原EV-X300N 干式螺杆真空泵全产品详情玉崎科学仪器原装现货

EBARA 日本荏原 EV-X300N 干式螺杆真空泵全产品详情

荏原EV-X整机

EV-X 是荏原新一代中负荷紧凑型无油干式真空泵，替代老款 EV-M/EV-S 系列，主打小型化、节能、一机多用、耐半导体制程腐蚀，专为半导体、光伏、面板镀膜严苛工况开发，符合 SEMI-S2 工业规范，全系列日本原装进口。

结构形式：多级非接触式螺杆复合转子、全干式无油润滑。

二、全系列主力型号核心参数（50/60Hz 通用）

型号	标称抽速	极限真空	主电机功率	冷却方式	进气法兰	整机重量
EV-X30N	3000L/min（180m³/h）	≤0.1Pa	2.2kW	全风冷	DN40	72kg
EV-X100N	10000L/min（600m³/h）	≤0.1~0.5Pa	4.0kW	全风冷	DN50	128kg
EV-X200N	20000L/min（1200m³/h）	≤0.2~0.5Pa	7.5kW	风冷 / 水冷可选	DN65	215kg
EV-X300N	30000L/min（1800m³/h）	≤0.5Pa	11kW	标配水冷	DN80	320kg

备注：N = 标准耐腐蚀标配机型，另有 CR 耐强酸氟化气体定制款

*小型化，占地缩减 30%~38%

同抽速体积远小于 EV-S/EV-M，Subfab 机房密集排布优势明显，机台内嵌安装友好。
IE5 高效电机，节能 25%~50%

空载低真空自动降功率运行，极限真空待机功耗仅 0.9~1.5kW，大幅降低工厂电费；50/60Hz 自适应变频，出口 / 国内通用电压 3φ200~220V。
全机温控防凝设计，适配中重腐蚀制程

泵体分段恒温伴热，抑制 SiO₂、有机副产物凝结结块；标准泵腔 316L 不锈钢，可选镍基防腐内衬（HF、Cl₂、F 系蚀刻气体）。
模块化集成、易维护

整机零件精简，常规保养仅更换进气滤芯、排气滤芯，保养周期≥8000h，备品通用性强、维保成本低。
智能电控系统

自带一体式控制面板：温度、电流、过载、缺水、堵转故障报警，标配无源触点，可直连设备 PLC 远程启停联锁。

干法蚀刻、PECVD/HDP-CVD、溅射 PVD、离子注入、灰化除胶、Loadlock 腔体预抽、检测设备 SEM/XPS 前级真空

电池片 PECVD 镀膜、干法边缘蚀刻、MiniLED 溅射腔体抽气

OLED/LCD 蒸镀、小型腔体预抽真空

真空镀膜、冻干、脱泡、实验室科研真空设备

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