Otsuka大塚电子SM-110SO便携式分光干涉膜厚仪
SM-110SO 是日本大塚电子 (OTSUKA) Smart 系列中的一款手持式、非接触光学膜厚仪。
与同系列的*版 SM-110PO 相比,它是一款专注于单层膜测量的标准版机型,核心优势同样是便携、快速、无损,但更聚焦于满足常规的单层膜厚检测需求。
便携现场测量:主机仅重约 350g(不含线缆),可轻松携带至生产线、仓库、甚至无尘车间进行现场检测。
非接触无损检测:采用光学方法,无需接触样品,可无损测量立体异形工件。
斜角探头:搭载专属的 45° 斜角测量探头,专门针对曲面、窄边框、凹槽、异形光学件等复杂形状样品的膜厚检测。
操作简便:操作简单,新手也能快速上手。
数据存储:内置内存,可存储 1800组 测量数据,并自带统计分析功能。
| 项目 | SM-110SO 规格参数 |
|---|---|
| 型号 | SM-110SO (Standard / 标准版) |
| 测量原理 | 反射分光法(光学干涉法) |
| 测量方式 | 45° 斜向分光干涉反射式 |
| 测量波长范围 | 400 - 1000 nm |
| 单层膜厚范围 | 1 – 50 μm (当折射率为1.6时) |
| 多层测量能力 | 不支持 (仅单层) |
| 测量重复性 | 2.1σ < 0.01 μm (SiO₂ 1 μm) |
| 测量光斑直径 | Φ1 mm 及以下 (另有资料提及 Φ1.2mm) |
| 单次测量时间 | < 0.5秒 |
| 数据存储 | 内置内存可存储 1800组 测量数据 |
| 数据输出 | 可导出为CSV文件并保存至U盘 |
| 主机尺寸 | 约 H54 × W138 × D198 mm |
| 主机重量 | 约 350g (不含线缆) |
| 供电方式 | 内置充电锂电池 (可连续工作8小时) 或 AC适配器 |
SM-110SO 采用反射分光法(光学干涉法)。它向薄膜表面照射光线,分析从薄膜表面和薄膜与基底界面两处反射回来的光。这两束反射光会发生干涉,形成的反射光谱。通过分析该光谱并结合材料的折射率,即可计算出薄膜的厚度。
生产现场与来料质检:在产线或仓库直接快速检测光学镀膜、涂层厚度。
特殊形状样品:利用其45°斜角探头,专门测量曲面、窄边框、凹槽、异形光学件等。
适用薄膜类型:硬化膜、AR(减反射)膜、ITO导电膜、SiO₂氧化膜、各类透明树脂涂层等。
