日本MIYUKI美幸辉 AER-N160 真空L型阀门

基础技术参数

1. 驱动气源：0.4～0.6MPa 洁净干燥压缩空气；DN160 大口径双作用气缸（无弹簧复位），选配 DC24V 电磁阀 + NPN/PNP 磁感应开关，PLC 阀位信号反馈。

2. 阀体密封

   阀体 SUS304 不锈钢、内腔电解抛光低放气；阀杆 FKM 氟橡胶 O 圈动密封，阀座 FKM 密封（无金属波纹管）。

3. 真空指标

   适用压力：常压 10⁵Pa～10⁻⁵Pa 中真空；整机氦检漏≤1×10−8Pa⋅m3/s，通流≈770L/s，支持正反压差任意安装。

4. 温度与寿命

   阀体连续使用≤150℃，严禁腔体整体高温烘烤除气；开关寿命≥60 万次，O 圈为常规易损件。

AER-N160 VS ABR-N160（同口径选型对比）

参数	AER-N160（O 圈经济型）	ABR-N160（波纹管高端款）
轴封结构	FKM 橡胶 O 圈动密封	316L 不锈钢焊接全金属波纹管
极限真空	10⁻⁵Pa 中真空	10⁻⁷Pa 高真空
烘烤性能	禁止高温烘烤	* 200℃整炉烘烤除气
洁净度	微量橡胶放气，普通工况	无塑胶析出，高纯洁净工艺
成本	高、采购便宜	造价偏高、精密设备

产品特点

1. KF160 快装法兰：通用国标真空管路，卡箍快速拆装，替换国产 / 日系真空泵管路无需改配法兰尺寸。

2. L 型流线腔体：流阻小、抽气速率快，缩短腔体预抽时间；气缸内置缓冲，启闭减震、保护阀座密封。

3. 经济耐用：O 圈密封结构维保简便、配件便宜，量产设备降本*。

典型应用

1、真空镀膜（粗抽标配）

PVD / 光学镀膜粗抽管道隔断阀、干式泵入口前置阀、腔体破空阀；主抽高真空回路搭配 ABR-N160，粗抽回路用 AER-N160。

2、光伏 / 普通半导体

非高纯制程腔体预抽阀、真空清洗机、真空脱水设备切断阀。

3、通用工业真空

真空热处理炉粗抽阀、树脂真空脱泡釜、中小型罗茨 + 干泵真空机组旁路阀。

4、实验室常规设备

非烘烤型真空腔体、普通检漏设备前置隔断阀。

地理位置

* 对于空气切换电磁阀，单作用时使用3孔接口，双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格（标准法兰、直径、耐压等）。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。

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