LINTEC 琳得科 RAD-3500m/12 为适配 12 英寸(300mm)晶圆的半自动背负式背磨胶带贴合设备,专门用于晶圆背面减薄前正面保护膜贴合,原生兼容 Adwill 埃隆 BG UV 固化背磨胶带与 Adwill P 系列非 UV 背磨胶带,广泛用于半导体研发实验室、小批量试样产线、中小规模封测车间。设备搭载 TTC 低应力贴合控制系统,贴合过程不会对晶圆施加额外压力,能够适配薄晶圆加工,有效降低贴膜应力造成的裂片风险。操作人员将晶圆放置于贴膜工位后,启动程序即可自动完成胶带贴合与晶圆外圈裁断,操作流程简洁直观。机身结构紧凑,占地面积小,便于安置在洁净实验室内,可选配台面、滚轮加热模块,满足多种胶带工艺条件。整机标准单片循环约 40 秒,适配常规硅晶圆、薄晶圆样品加工。
选型区分:RAD-3500m/12 属于半自动机型,人工上下料,适合研发测试、小批量试产场景;量产大规模产线可升级 RAD-3520F/12 全自动机型。本设备仅适配 BG 背磨保护胶带,不可用于 D、G 系列划片胶带贴膜,划片贴膜需要选用 RAD-2500 系列设备。
可供应整机、翻新设备以及原厂配套备件,提供设备规格资料、工艺调试支持,同步配套琳得科 BG、P 系列背磨胶带,支持试样工艺验证。
