聚焦电子科大*集成电路产教融合创新平台 国产电镜深耕 芯 高地

聚焦电子科大*集成电路产教融合创新平台：国产电镜深耕“芯”高地

 国仪量子电镜‘去繁就简’，简洁的全中文界面和符合科研人员的交互逻辑，大大降低了学生的学门槛，避免了误操作。学生敢上手了，学得快了！

——ICIE平台涂小明博士

近日，在电子科技大学*集成电路产教融合创新平台上，负责多台国产与进口电镜设备运营管理的涂小明博士，对国仪量子的SEM5000X场发射扫描电镜和DB550双束电镜给出了高度好评。

电子科技大学*集成电路产教融合创新平台是*发改委和教育部于2021年联合批准建设的平台。平台投资2.5亿元，下设IC设计、前道工艺、封装测试三大子平台，建成了一条完整的6到8英寸兼容的集成电路工艺线，具备0.18微米及以上晶圆级加工与测试能力。目前，平台拥有各类微纳制造、芯片封装与量测设备150多台套，从规模、功能和产业链完整度来看，是西南地区高校中规模大、功能全、*性强的集成电路公共平台。

作为面向全社会开放共享的平台，稳定高效的芯片微观表征与分析工具至关重要。而国仪量子的两台国产电镜——SEM5000X和DB550，正承担着其中关键角色。

稳定*：撑起芯片精密制造的“慧眼”

“作为西南地区功能*全的集成电路*化平台，对微观形貌的表征和量测需求非常大。”涂小明博士介绍道，这两台设备主要工作在芯片微纳加工过程中的形貌观察、尺寸测量，以及截面分析等关键环节。

SEM5000X是国仪量子研制的高分辨场发射扫描电子显微镜，在高强度使用下，SEM5000X展现出了高的稳定性，能够高效完成复杂的形貌观察与纳米级尺寸测量任务。而DB550双束电镜则聚焦于精密截面分析，其可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，保证了高质量的纳米加工能力和分析效率，对平台的高效运行起到了关键的作用。

涂小明对此深有感触：“在高频使用下，SEM5000X在尺寸测量和微观形貌观察上表现出高的稳定性；DB550双束电镜在处理精密截面分析时的效率，对于平台的高效运转至关重要。”

中文交互：降低学门槛，学生“敢于上手”

半导体集成电路领域，*人才是发展的核心驱动力。平台肩负着为*培养大批紧缺人才的核心使命。

然而，不管是扫描电镜还是FIB，都属于极为精密且昂贵的仪器。此前操作进口设备时，复杂的操作逻辑和全英文的界面，往往给刚开始接触的学生带来较大的心理负担和“不敢上手”的畏难情绪。

但这样的情况在引入国仪量子SEM5000X和DB550后，得到了改善。国产电镜“去繁就简”，简洁直观的全中文界面以及符合科研人员使用惯的操作逻辑，大大降低了学生的学门槛。

“国仪量子电镜‘去繁就简’，简洁的全中文界面和符合科研人员的交互逻辑，大大降低了学生的学门槛，有效地避免了误操作。学生敢上手了，学得快了，设备安全也更有保障了，这对于高校开展教学和科研工作来说，帮助很大。学生不再畏惧操作这些昂贵的‘重器’，敢于去探索。”涂小明博士兴奋地结道。

毕竟，敢于上手，是高质量实验教学和科研创新的重要一步。从“能用”到“好用、会用、善用”，国产电镜正在改变高校的人才培养方式。

服务保障：全天候在线，“随时随地有人支持”

对于承担着高强度实验任务的大型公共实验平台来说，的售后服务和技术支持，是保障平台平稳高效运行的关键所在。

国仪量子的售后服务团队，在这一点上给涂小明博士留下了远预期的深刻印象。

“管理设备中，遇到突发技术问题是很正常的情况。有几次在操作中遇到了一点小状况，我立刻联系了国仪量子售后工程师曹工。好几次刚把问题发出去，曹工立刻就进行了回复，直接给出了解决的办法，确实做到了全天候在线服务！”涂小明老师称赞道。

他也指出，这种随时随地有技术后盾支撑的安心感，是很多进口仪器厂商很难企及的。“售后服务好、响应及时，保障了我们平台科研进度的顺利推进，让仪器使用者非常安心。”

国仪量子秉持“镜心镜意，成就客户”的服务理念，致力于把服务送至科研一线。在许多高校案例中均可见其服务团队深入实验室，开展从设备交付到深度培训、从日常运维到技术支持的保障工作，赢得了用户的广泛认同。

“愿国产电镜成为科研人员探索微观世界的锐利之眼，助力创新，推动科研前行。”采访的*，涂小明博士动情地送上了对国产电镜的祝福。

电子科技大学*集成电路产教融合创新平台以研发积淀、实验环境和对国产科学仪器的积极扶持，生动诠释了服务*芯片战略与集成电路产业深度融合的使命担当。

而在这一进程中，国仪量子SEM5000X与DB550双束电镜的*表现，不仅证明了国产量子精密测量与科学仪器的实力，更通过以服务育人为本的体验，为推动高校集成电路的可持续创新，打造了校企合作、产教融合的生动范本。

未来，国仪量子将继续深耕用户需求，以更*的技术、更贴心的服务，陪伴每一位科研工作者探索微观、突破边界，为的芯片科研和人才培养注入来自国产创新的澎湃动能。