小型真空泵的类型

来源：深圳市京都玉崎电子有限公司
发布时间：2026-09-23 15:19:02
1. 油封式旋转真空泵
在各种类型的真空泵中，由于其排量大、极限压力高且价格适中，油封式旋转真空泵是*常用的。根据泵体设计的不同，这种类型的真空泵有很多变体，统称为旋转式真空泵。

油的作用是润滑轴承并提高气缸内的密封性能。旋转式油封真空泵有多种类型，包括旋片式、凸轮式和活塞式设计。这些泵可以轻松达到约 0.1 Pa 的中等真空度。

旋片式油封旋转真空泵的
结构中，叶片固定在安装在内部圆筒内的转子上。当转子旋转时，叶片分隔出的小腔室内的气体被排出，从而降低压力。

在凸轮式油旋
真空泵中，位于圆柱形定子中心的偏心转子的一部分在与定子接触的同时旋转。滞留在定子和转子之间间隙中的气体被排出，从而产生减压。

在往复式活塞油旋真空泵
中，活塞由于偏心转子的旋转而上下运动。气缸内的空气被活塞压缩并排出，从而降低压力。

2. 干式泵
干式泵是一种清洁、非接触式的真空泵，不使用油或液体。根据泵的设计，干式泵有很多种类型。

罗茨式干式真空泵
：这种泵采用罗茨式转子，无需冷却水，使用非常方便。

涡旋式干式真空泵的
工作原理是利用涡旋的旋转运动，通过压缩和排出空气，从外部向内部产生真空。它结构紧凑，具有真空度高、振动小、噪音低、能效高等优点。

爪式干式真空泵
使用两个爪形转子沿相反方向旋转来产生真空。

隔膜式干式真空泵的
工作原理是利用称为泵轴的活塞往复运动，从而带动隔膜上下运动，吸入和排出空气。

其他类型
包括旋片式和活塞式。这些真空泵的结构与油泵类似。
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