ORAY 东丽 TOC‑780L 微量低浓度高灵敏度 TOC 分析仪｜日本原装整机

一、产品概述

TOC‑780L 是日本东丽工程原厂整机进口、面向纯水 / 微量痕量水体打造的高灵敏度有机碳分析仪，专属低浓度微量检测场景，区别于高温燃烧式 TOC 机型，采用东丽湿式紫外催化氧化 + NDIR 红外检测技术，专门针对半导体纯水、制药纯化水、实验室一级纯水、高纯蒸汽冷凝水微量 TOC 管控设计。行业常规燃烧 TOC 检出限仅能达到 ppmg 级别，难以捕捉纯水 μg/L 级微量有机污染；简易紫外 TOC 存在无机碳干扰、零点漂移、氧化不完全缺陷。TOC‑780L 搭载 IC 无机碳脱除洗涤单元、长光程高灵敏度红外检测器，可稳定检出 μg/L 级痕量有机物，支持 24 小时在线连续监测、实验室离线水样检测双模式，是芯片晶圆、生物制药、高纯水处理行业水质合规监测设备。

TOC-780L整机外观

二、核心检测原理：湿式紫外催化氧化法（微量水体专属）

整机采用IC 脱除→紫外催化氧化→NDIR 红外定量三段式连续检测流程，*适配极低浓度纯水体系：

1. 无机碳全自动脱除（IC 洗涤器）水样酸化后连续鼓泡吹扫，去除碳酸盐、碳酸氢盐无机碳，杜绝无机碳信号抬升基线，解决纯水微量 TOC 测量基线漂移问题，无需人工预处理水样。

2. 低温湿式紫外催化完全氧化投加微量过硫酸盐氧化剂，搭配大功率紫外反应器，常温常压下将水中微量有机物 * 氧化分解为 CO₂；无高温燃烧炉、无铂金催化剂损耗，不会产生高温裂解副产物干扰低浓度读数。

3. 高灵敏度 NDIR 红外 CO₂定量定制加长光程红外检测腔，放大微量 CO₂信号，*换算水样 TOC 浓度；内置系统空白校正、稀释水补偿算法，可直接输出 TOC *真值，规避微量水样稀释换算误差。

原理对比优势

对比高温燃烧 TOC：无燃烧管耗材、无盐分结垢、低浓度线性更稳定；对比普通简易紫外 TOC：独立 IC 脱除单元，无机碳干扰完全消除，检出限提升一个数量级。

三、原厂核心硬件技术参数（TOC‑780L 低浓度微量款）

1. 测量量程（微量专属双档自动切换）低量程：0～1 mg/L（0～1000 μg/L，适配纯水、制药纯化水）宽量程：0～10 mg/L，兼顾纯水与轻度污染原水

2. 检出限与稳定性*低检出限：≤0.005 mg/L（5 μg/L）；零点稳定性：≤±2% FS / 天；跨度稳定性≤±2% FS / 天；温漂补偿：5℃温度波动误差≤±2% FS；重复精度：≤±2% FS，满足半导体行业≤5μg/L 严苛管控标准。

3. 响应速度T90 响应≤5 分钟，连续流实时监测，快速捕捉纯水系统瞬时有机污染波动。

4. 测量周期在线连续模式：每 10～30 分钟自动循环检测；离线批量模式：单样 8 分钟完成。

5. 整机物理规格尺寸：W600×D550×H1370 mm，立式一体化机柜；整机重量约 150kg，占地紧凑，纯水车间、洁净实验室均可摆放。

6. 水样适配条件水温 3～40℃，纯水 / 纯化水 / 低浊度地表水；内置微量悬浮物过滤前置单元，防止光路污染。

7. 信号输出与供电供电 AC100～240V 宽电压；输出 4～20mA 模拟信号、RS485 Modbus；本地触摸屏存储、USB 导出数据，可对接纯水自控系统、洁净区物联网平台。

8. 校准介质标准邻苯二甲酸氢钾纯水标液，支持一键自动零点 / 跨度校准。

四、日本原装微量机型专属五大核心技术亮点

1. 痕量级检测能力，匹配半导体 / 制药纯水国标

专为 μg/L 级微量有机污染优化光路与气路，可稳定监测 5μg/L 以内 TOC，满足芯片厂 UPW 纯水、药典纯化水、注射用水水质管控，提前预警树脂失效、管路析出有机物风险，避免晶圆缺陷、药品杂质标。

2. 独立 IC 无机碳脱除系统，杜绝基线漂移

普通紫外 TOC 无脱碳单元，水中碳酸氢盐持续抬高基线，微量读数失真；TOC‑780L 搭载连续式 IC 洗涤模块，全自动脱除无机碳，长期连续监测基线平稳，无需每日频繁零点校准，大幅减少人工运维频次。

3. 低耗材长效运行，洁净车间运维成本更低

无高温燃烧管、铂金催化剂等高损耗配件；仅定期补充微量过硫酸钾、稀盐酸试剂，单套试剂可连续运行 30 天；长寿命紫外光源标称 20000 小时，2 年无需更换，适配洁净车间少维护需求。

4. 在线 / 离线一机两用，适配多场景检测需求

在线模式：串联纯水管道 24 小时不间断实时监测；离线模式：自动进样盘批量检测实验室水样，一套设备同时覆盖产线在线管控、实验室水质抽检，设备复用率高。

5. 全流程自诊断 + 自动清洗，降低洁净区人工介入

内置全自动管路酸洗、纯水冲洗程序；设备自带故障自诊断，光源异常、试剂液位低、管路堵塞自动声光报警并远程输出信号；洁净区无需频繁开门人工检修，维持车间洁净等级。

五、主流成套配套监测方案

方案 1：半导体晶圆纯水在线监测系统

TOC‑780L + 电阻率在线探头 + 产线 PLC 自控系统实时监测 EDI、抛光混床出水微量 TOC，TOC 标自动触发树脂再生、管路冲洗，保障晶圆清洗水质稳定。

方案 2：生物制药纯化水 / 注射用水监测方案

TOC‑780L 离线在线两用机型 + 多参数水质监测仪满足 GMP 药典水质检测要求，批量记录 TOC 数据，用于药品生产水质归档、合规审计。

方案 3：高纯蒸汽冷凝水、锅炉给水微量有机物监测

TOC‑780L 串联冷凝水管路，持续监测有机杂质，防止锅炉结垢、蒸汽系统有机物富集，延长设备使用寿命。

方案 4：实验室纯水设备研发、水质课题研究

离线批量检测模式，*区分各级纯水微量 TOC 差异，用于纯水设备工艺优化、水质机理科研试验。