CABS离子发生器
SSD 西西蒂 CABS 属于 Eliminostat 系列紧凑型 HDC-AC 交流棒式离子发生器,面向狭小设备腔体、小型无尘工作台开发,主打短尺寸精密工位静电消除,广泛用于半导体晶圆检测、光学薄膜试样、MiniLED 基板、精密元件组装产线,解决静电吸附粉尘、器件静电击穿、薄膜偏移等不良问题。
产品采用控制器与电极分离式结构,棒体电极外形紧凑小巧,可轻松安装在自动化机台内部、手套箱、检测腔体等狭窄安装空间。搭载 SSD HDC-AC 脉冲电离技术,短距离工况下除静电效率相比常规机型提升 30%,离子平衡稳定控制在 ±30V 以内,臭氧生成量低,满足 Class1000 洁净室生产标准。
CABS *特色为集成多重智能监测传感器,内置放电针脱落检测、离子量衰减监测、带电物体感应三大功能。放电针出现遗失、松动故障时自动报警;电极积污导致除电能力下降时,及时提示维护;带电工件靠近可自动识别,方便搭建联动控制系统。标配可滑动式放电针安全防护罩,兼顾操作安全与洁净规范。
规格定制灵活,电极长度以 40mm 为单位灵活定制,有效长度覆盖 110mm 至 1030mm,专门补齐 1 米以内短尺寸离子棒产品线空白;配备 HW 大流量、LW 低流量两款可替换喷嘴,企业可根据供气成本自由选配。整机 DC24V 低压供电,高压线缆独立布置,降低现场安装安全隐患;设备故障信号可无源输出接入 PLC,实现产线远程监控。放电针可选硅材质低微粒版本,适配晶圆、光学膜等高洁净等级制程。
📌选型区分参考CABS:紧凑型短尺寸机型,自带多重检测传感器,适合 1 米以内狭小空间、小型自动化设备;CABX:电源内置长款离子棒,长度规格更大,适合宽幅流水线、开放式长距离除静电场景。
⚠️使用注意事项必须接入干燥无油洁净压缩空气或高纯氮气;定期按照设备提醒清洁放电针,积尘会破坏离子平衡;安装位置避开强气流直吹,防止正负离子被气流吹散,影响中和效果。
适用场景:晶圆离线目检工位、光学薄膜实验室试样、小型 AOI 检测设备、芯片封装微型腔体、柔性基板小型加工设备。整套配置包含电极棒、控制器、高压连接电缆、电源信号线,配套提供安装支架、备用放电针,可提供静电布局方案规划、现场试样调试技术支持
