EBARA 日本荏原 EV-S20 多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

来源:玉崎科学仪器(深圳)有限公司
发布时间:2026-06-03 17:33:30

EBARA 日本荏原 EV-S20 多级罗茨干式真空泵(原装日本进口・轻载节能款)

玉崎科学仪器原装现货



EBARA 日本荏原 EV-S20 多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货image
EV-S整机实拍
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EV-S大小机型

一、产品概述

EV-S 为无油多级罗茨干式真空泵,荏原主打轻制程、全风冷、低功耗机型,对标腔体预抽、Load Lock、PVD / 镀膜、LED、光伏、实验室洁净工况;分标准版、P 氮气吹扫款、N 镍基耐腐款,满足洁净→微量腐蚀气体工况,全系列标配风冷、无需冷却水,50/60Hz 电源抽速恒定不受频率影响,通过 SEMI-S2、CE、NRTL 半导体安全。
定位区分:EV-S = 轻载罗茨(风冷省电);EV-X = 中载螺杆(温控耐腐);EV-M = 重载强腐蚀

二、全系列型号 + 核心参数(主流 5 款)

机型 抽速 (L/min/m³/h) 极限真空 (Pa) 额定功率 进气口径 整机重量 冷却
EV-S20 1670/100 ≤3.0 0.45kW KF40/DN40 62kg 全风冷
EV-S30 3300/198 ≤2.0 0.45kW DN40 88kg 全风冷
EV-S50 5000/300 ≤0.5 0.55kW DN50 142kg 全风冷
EV-S100 10000/600 ≤0.5 2.2kW DN50 175kg 全风冷
EV-S200 20000/1200 ≤0.5 3.7kW DN65 258kg 风冷 / 可选水冷

后缀含义

三、产品核心优势

  1. 低能耗(主打卖点)
    搭载直流变频电机,空载休眠 / 怠速降功率,极限真空工况自动降转速,同抽速比传统干泵省电 30%~45%;洁净工艺不用持续通氮气,大幅降低 N₂用气成本。
  2. 小型轻量化 + 全风冷免水冷
    整机紧凑占地小,全系标配内置强制风冷,不用外接冷却水、不用配套冷水机,设备机房布线简单、基建投入低。
  3. 运行稳定低噪
    非接触罗茨转子结构,无磨损、振动小,运行噪音≤60dB (A),适合洁净车间、实验室环境。
  4. 智能电控系统
    机身 LCD 可编程控制面板,集成温度、过载、进气压力、振动传感器,故障预警、运行数据存储;标配 Modbus-RTU 通讯,可对接产线 PLC 远程联控启停、数据采集。
  5. 材质灵活选配
    标准镀镍、镍基合金、特氟龙防腐三层方案,从轻洁净→微腐蚀全工况覆盖。

四、结构与原理

五、选配配件

  1. 氮气吹扫总成(P/N 机型标配)、气镇阀(提升含水蒸气工况排水能力)
  2. 排气消音器、粉尘捕集罐、冷凝回收罐
  3. 变频调速模块、远程控制柜、排气油雾过滤器

六、应用行业(选型指引)

1、EV-S20/S30(小抽速)

Load Lock 腔体预抽、SEM 电镜、质谱仪器、小型 PVD 溅射、实验室镀膜、半导体设备锁仓、锂电小型封装脱泡。

2、EV-S50/S100(主力爆款)

LED 芯片制程、光伏小片镀膜、光学薄膜蒸镀、中小型 PVD、液晶面板真空腔体、晶圆传送腔预抽。

3、EV-S200(大抽速)

量产线集中预抽系统、中大腔体镀膜、光伏整线真空、中小型 CVD 洁净制程。
❗选型区分:洁净无水汽→基础款;含水汽微量粉尘→P 款;含弱酸 / 卤素气体→N 款

七、采购渠道

玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

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