EBARA 日本荏原 EV-S200多级罗茨干式真空泵(原装日本进口・轻载节能款)
玉崎科学仪器原装现货
一、产品概述
EV-S 为无油多级罗茨干式真空泵,荏原主打轻制程、全风冷、低功耗机型,对标腔体预抽、Load Lock、PVD / 镀膜、LED、光伏、实验室洁净工况;分标准版、P 氮气吹扫款、N 镍基耐腐款,满足洁净→微量腐蚀气体工况,全系列标配风冷、无需冷却水,50/60Hz 电源抽速恒定不受频率影响,通过 SEMI-S2、CE、NRTL 半导体安全。
定位区分:EV-S = 轻载罗茨(风冷省电);EV-X = 中载螺杆(温控耐腐);EV-M = 重载强腐蚀
二、全系列型号 + 核心参数(主流 5 款)
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机型
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抽速 (L/min/m³/h)
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极限真空 (Pa)
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额定功率
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进气口径
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整机重量
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冷却
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EV-S20
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1670/100
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≤3.0
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0.45kW
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KF40/DN40
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62kg
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全风冷
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EV-S30
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3300/198
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≤2.0
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0.45kW
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DN40
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88kg
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全风冷
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EV-S50
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5000/300
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≤0.5
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0.55kW
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DN50
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142kg
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全风冷
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EV-S100
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10000/600
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≤0.5
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2.2kW
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DN50
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175kg
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全风冷
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EV-S200
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20000/1200
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≤0.5
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3.7kW
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DN65
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258kg
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风冷 / 可选水冷
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后缀含义
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基础款(无后缀):泵腔镀 Ni-P 化学镍,洁净无腐蚀气体,无需氮气吹扫,日常氮气耗量≈0、运行成本*低
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P 款:内置多路 N₂氮气反吹接口,防止水汽、微量粉尘凝结,适配轻度腐蚀、含水蒸气工艺
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N 款:转子 / 泵腔镍基合金基材 + PTFE 特氟龙涂层,P+N 双配置,弱酸、卤素微量腐蚀工况
三、产品核心优势
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低能耗(主打卖点)
搭载直流变频电机,空载休眠 / 怠速降功率,极限真空工况自动降转速,同抽速比传统干泵省电 30%~45%;洁净工艺不用持续通氮气,大幅降低 N₂用气成本。
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小型轻量化 + 全风冷免水冷
整机紧凑占地小,全系标配内置强制风冷,不用外接冷却水、不用配套冷水机,设备机房布线简单、基建投入低。
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运行稳定低噪
非接触罗茨转子结构,无磨损、振动小,运行噪音≤60dB (A),适合洁净车间、实验室环境。
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智能电控系统
机身 LCD 可编程控制面板,集成温度、过载、进气压力、振动传感器,故障预警、运行数据存储;标配 Modbus-RTU 通讯,可对接产线 PLC 远程联控启停、数据采集。
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材质灵活选配
标准镀镍、镍基合金、特氟龙防腐三层方案,从轻洁净→微腐蚀全工况覆盖。
四、结构与原理
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泵型:多级串联罗茨转子、无油干式压缩,腔体全程无润滑油,真空无油污染、洁净度高;转子间隙精密优化,大气压直抽高真空,不用前级泵串联。
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标准材质:转子球墨铸铁 + Ni-P 镀镍;N 防腐款:镍基合金 + 内腔 PFA/PTFE 涂层,耐 HF、HCl 微量酸性气体。
五、选配配件
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氮气吹扫总成(P/N 机型标配)、气镇阀(提升含水蒸气工况排水能力)
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排气消音器、粉尘捕集罐、冷凝回收罐
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变频调速模块、远程控制柜、排气油雾过滤器
六、应用行业(选型指引)
1、EV-S20/S30(小抽速)
Load Lock 腔体预抽、SEM 电镜、质谱仪器、小型 PVD 溅射、实验室镀膜、半导体设备锁仓、锂电小型封装脱泡。
2、EV-S50/S100(主力爆款)
LED 芯片制程、光伏小片镀膜、光学薄膜蒸镀、中小型 PVD、液晶面板真空腔体、晶圆传送腔预抽。
3、EV-S200(大抽速)
量产线集中预抽系统、中大腔体镀膜、光伏整线真空、中小型 CVD 洁净制程。
❗选型区分:洁净无水汽→基础款;含水汽微量粉尘→P 款;含弱酸 / 卤素气体→N 款
七、采购渠道
玉崎科学仪器(深圳)有限公司 原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
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