日本MIYUKI美幸辉 ABR-J100 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 ABR-J100 真空L型阀门
全金属波纹管密封,洁净无挥发
阀杆金属波纹管隔离腔体与大气,无橡胶轴封析出污染,适配高纯工艺气体、高温烘烤腔体,半导体 / 精密镀膜*。
JIS100 日式法兰,日系设备原配
JIS 日标螺栓法兰,适配日系真空炉、镀膜机、进口真空泵组原厂管路,改造不用改开孔尺寸。
大通流平滑内腔
L 型流线腔体、流阻小,抽气速度快,缩短腔体预抽时间,提升设备稼动率。
原装缓冲气缸 + 电控选配
气缸内置启闭缓冲,减震静音;可选 NPN/PNP 阀位反馈 + DC24V 电磁阀,直连 PLC 自动化控制。
耐反压密封性强
正负压双向密封可靠,可用于分子泵隔断阀、主抽阀、工艺气路切断阀。
| 型号 | 轴封结构 | 极限真空 | *烘烤温度 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| ABR-J100 | 金属波纹管 | 10−7Pa | 200℃ | 半导体腔体、氦检设备、高温 PVD 主阀、科研高真空、锂电高真空制程 |
| AER-J100 | FKM 氟胶 O 圈动密封 | 10−5Pa | ≤150℃ | 粗抽预抽管路、普通脱泡、中真空量产设备 |
地理位置
| 产品名称 | 气动L型阀 | |
|---|---|---|
| 操作方法 | 空气驱动 | |
| 系列 | AB | AE |
| 口径 | 16A~250A | |
| 法兰 | KF(西北)·JIS・CF | |
| 轴密封 | 风箱 | O型圈 |
|
气缸 16A~50A |
单/双电兼容 | |
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气缸 80A~250A |
多动 | |
| 手柄 | ―――――― | |
|
服役周期16A ~50A |
5×105 | |
|
服务周期 80A~250A |
1×105 | |
| 泄漏体积(Pa·m3/s) | 1×10-10 下图 | 1×10-8 下图 |
| 使用区域(宾夕法尼亚州) | 105 ~ 10-6 | 105 ~ 10-5 |
| 所需气压(MPa G) | 0.4 ~ 0.6 | |
| 材料:主体 | SUS304 | |
| 阀体填充 | 氟橡胶O型圈 | |
| 轴密封 |
SUS316L 焊接风箱 |
氟橡胶 O型圈 |
| 近接开关 | 选项 | |
| 耐热工作温度 | 主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下) | |
| 产品名称 | 手动L型阀门 | |
|---|---|---|
| 操作方法 | 手动(旋转手柄) | |
| 系列 | ABR | AER |
| 口径 | 16A~250A | |
| 法兰 | KF(西北)·JIS・CF | |
| 轴密封 | 风箱 | O型圈 |
|
气缸 16A~50A |
―――――― | |
|
气缸 80A~250A |
―――――― | |
| 手柄 | 铝合金 | |
|
服役周期16A ~50A |
5×105 | 1×105 |
|
服务周期 80A~250A |
1×105 | |
| 泄漏体积(Pa·m3/s) | 1×10-10 下图 | 1×10-8 下图 |
| 使用区域(宾夕法尼亚州) | 105 ~ 10-6 | 105 ~ 10-5 |
| 所需气压(MPa G) | ―――――― | |
| 材料:主体 | SUS304 | |
| 阀体填充 | 氟橡胶O型圈 | |
| 轴密封 |
SUS316L 焊接风箱 |
氟橡胶 O型圈 |
| 近接开关 | ―――――― | |
| 耐热工作温度 | 主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下) | |
* 对于空气切换电磁阀,单作用时使用3孔接口,双作用时使用4通或5通口。
* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格(标准法兰、直径、耐压等)。
*本规范可能因改进目的而无通知地更改。
