日本MIYUKI美幸辉 AER-J100 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 AER-J100 真空L型阀门
AER:FKM 氟胶 O 圈轴封、经济型气动 L 阀(无波纹管)
J:JIS100 日标螺栓法兰(日式国标法兰),区别 AER-N 的 KF 快装法兰
100:DN100 通径、90° 直角 L 型结构
驱动气源:0.4~0.6MPa 干燥压缩空气,标配双作用气缸,可定制单作用弹簧复位、常开 / 常闭
阀体材质:SUS304 不锈钢,内腔镜面精抛、低放气;阀杆 + 阀座全 FKM 氟橡胶密封
真空性能:适用~中真空,整机漏率≤1×10−8Pa⋅m3/s,通导速率 360L/s,双向耐反压差、任意方位安装
耐温寿命:阀体长期使用≤150℃,不可高温烘烤除气;选配磁感应开关环境≤70℃,启闭寿命≥50 万次,仅 O 圈为易损件,更换简易
JIS100 日式法兰:螺栓固定式法兰,原装日系镀膜机、真空炉、进口真空泵原配标准,老旧日系设备改造无需改开孔尺寸。
O 圈密封高:相较同型号ABR-J100 波纹管款采购、维保成本更低,FKM 耐水汽、耐油品腐蚀,量产设备*降本。
内置缓冲气缸:开关缓冲减震,阀座冲击小;可选 DC24V 电磁阀 + NPN/PNP 阀位反馈,直连 PLC 自动化联锁控制。
流线 L 型腔体:流阻小、抽气速率快,缩短腔体预抽时间。
| 型号 | 密封结构 | 极限真空 | 烘烤温度 | 适用区分 |
|---|---|---|---|---|
| AER-J100 | FKM O 圈密封 | 10−5Pa | ≤150℃不可烘烤 | 中真空、量产经济型设备、日系老设备替换 |
| ABR-J100 | 全金属波纹管 | 10−7Pa | 200℃可烘烤 | 精密 PVD、半导体腔体、氦检高真空设备 |
