日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2026-06-03 10:18:18

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150  真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150  真空L型阀门


产品特点(对比同口径 AER-J150)

项目 ABR-J150(波纹管) AER-J150(O 圈轴封)
轴封结构 金属波纹管隔绝真空与大气 FKM 橡胶 O 圈动密封
极限真空 10⁻⁷Pa 高真空 10⁻⁵Pa 中真空
高温烘烤 允许 200℃除气 禁止高温烘烤
洁净等级 高纯工艺、无挥发 普通量产粗抽
采购成本 高端精密款 经济型低成本

JIS150 日标法兰:日系真空设备通用标准,适配日本镀膜机、进口真空炉原厂管路,替换原装阀无需改开孔尺寸。

L 型流线内腔:流阻小、抽气速度快,缩短腔体预抽时间;气缸内置缓冲,开关冲击小、延长阀座密封寿命。

典型应用

1、真空镀膜行业(主力)

日系 PVD 磁控溅射、光学镀膜、ITO 镀膜设备分子泵入口主切断阀、高真空腔体主抽阀;粗抽旁路选用 AER-J150,主高真空回路标配 ABR-J150。

2、半导体 & 光伏

晶圆镀膜、PECVD 设备腔体隔离阀、高纯特种工艺气切断、氦检检漏系统主阀。

3、科研 / 航天

实验室高真空试验舱、材料高温烧结炉、空间环境模拟设备主隔断阀(需腔体高温除气)。

4、锂电 & 特种工业

固态电池高温烧结炉、真空热处理钎焊炉、腐蚀性原料真空蒸馏釜主阀。

5、进口真空机组

大规格干式泵 + 罗茨泵 + 分子泵成套机组高真空隔离阀、腔体破空阀。


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