日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门
产品特点(对比同口径 AER-J150)
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项目
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ABR-J150(波纹管)
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AER-J150(O 圈轴封)
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轴封结构
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金属波纹管隔绝真空与大气
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FKM 橡胶 O 圈动密封
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极限真空
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10⁻⁷Pa 高真空
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10⁻⁵Pa 中真空
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高温烘烤
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允许 200℃除气
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禁止高温烘烤
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洁净等级
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高纯工艺、无挥发
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普通量产粗抽
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采购成本
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高端精密款
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经济型低成本
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JIS150 日标法兰:日系真空设备通用标准,适配日本镀膜机、进口真空炉原厂管路,替换原装阀无需改开孔尺寸。
L 型流线内腔:流阻小、抽气速度快,缩短腔体预抽时间;气缸内置缓冲,开关冲击小、延长阀座密封寿命。
典型应用
1、真空镀膜行业(主力)
日系 PVD 磁控溅射、光学镀膜、ITO 镀膜设备分子泵入口主切断阀、高真空腔体主抽阀;粗抽旁路选用 AER-J150,主高真空回路标配 ABR-J150。
2、半导体 & 光伏
晶圆镀膜、PECVD 设备腔体隔离阀、高纯特种工艺气切断、氦检检漏系统主阀。
3、科研 / 航天
实验室高真空试验舱、材料高温烧结炉、空间环境模拟设备主隔断阀(需腔体高温除气)。
4、锂电 & 特种工业
固态电池高温烧结炉、真空热处理钎焊炉、腐蚀性原料真空蒸馏釜主阀。
5、进口真空机组
大规格干式泵 + 罗茨泵 + 分子泵成套机组高真空隔离阀、腔体破空阀。
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