日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空闸阀 GAZ-C63 +MS-PC

型号释义

• GAZ：闸板式定点真空调节阀（区别 BAZ 蝶板式），原厂定点阀，仅配套 MS-PC 数字定点控制器，不可配 MS-VP 模拟控制器

• C=CF63 高真空刀口法兰，DN63（63A）标准全金属刀口密封，适配高真空腔体 CF 管路

• 成套标配：GAZ-C63 阀体 + 原装 MS-PC 控制器，DC24V 整机成套

配套 MS-PC 定点控制器参数

供电：DC24V±5%，额定功耗 95W，尺寸 110×130×141mm

三种控制模式

本地面板手动：拨码设定 00~99 档位→MOVE 定点运行、OPEN 一键全开；4 路 LED（就绪 / 运行 / 全开 / 全关）状态指示灯；

PLC 远程 I/O 控制：8 位二进制编码远程下发开度指令，无源触点回传阀位信号，对接设备整机联锁；

上位调试：MEXE02 软件联机修改阀门内部运行参数。

同口径 CF63 选型区分

成套型号	阀体结构	控制方式	配套电控	适用工艺
GAZ-C63+MS-PC	闸板式	00~99 数字定点分段控流	MS-PC	高真空微量进气、阶梯破空、高纯气体配比（科研 / 镀膜）
BAZ-C63+MS-PC	蝶板式	00~99 数字定点控流	MS-PC	大通流快速分段泄压、量产镀膜进气
GAR-C63+MS-VP	闸板式	0~10V 模拟无级连续调压	MS-VP	PID 闭环动态稳压、连续精细微调流量

应用领域

光学镀膜 / PVD 腔体、XPS/AES 表面分析仪器、小型半导体离子注入设备、实验室高真空试验舱、精密氦检漏工装、小型真空钎焊炉高纯工艺进气调节阀

控制器型号	MS-PC
适用的开口规范阀门类型	巴兹加兹
面板显示	4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作	电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出	开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出	准备，移动，打开，关闭
输入电源	电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1	数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）	110毫米×130毫米×141毫米
质量	1公斤
配件	支架
有线电视（单独出售）*2	电机电缆 编码线 电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。

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