英国真尚有ZNXsensor高精度纳米位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种：变极板间距离的变极距型；改变极板面积的变面积型；还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的高精度纳米位移传感器。
ZNXsensor高精度纳米位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
该高精度纳米位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
ZNXsensor高精度纳米位移传感器主要特点：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
真空兼容选项；
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
： / 26528011/26528012
：/26435640
技术规格：
传感器型号
ZNXA
ZNXB
ZNXC
ZNXD
小量程μm
-
20
100
250
灵敏度μm/V
-
2
10
25
噪音nm rms Hz-1/2
-
<0.001
<0.005
<0.013
温漂nm/K
-
1
4.4
11
线性度%
-
<0.08
<0.03
<0.06
大量程μm
50
100
500
1250
灵敏度μm/V
5
10
50
125
噪音nm rms Hz-1/2
<0.08
<0.015
<0.075
<0.188
温漂nm/K
2.2
4.4
22
55
线性度%
<0.08
<0.08
<0.05
<0.06
频响Hz
50/500/5000
控制器型号
NS2000
NM2110
S2000和NS模块
NM3330
传感器通道大个数
1
1
14
3
供电
±15V，70mA
90～130V或220～260V
90～110V或110～130V或220～260V
90～260V
模拟输出V
±5
±5
±5
数字输出
16位(可选)
7位浮点数
频响KHz
5
5
5
12.5
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
