Leica DCM8徕卡共聚焦干涉显微镜-3D光学表面测量系统：
Leica DCM8徕卡白光共聚焦干涉显微镜，是具有非接触式三维光学表面测量新技术的测量系统，融合了微米级分辨率共聚焦显微技术和亚纳米级垂直分辨率的干涉测量技术，是具有多功能高速3D表面测量的双核系统，可提供鲜明的真彩成像效果，为高精度表面分析工作中任何测量观察任务提供一站式解决方案。模式选择一键完成，智能软件、无移动部件的高分辨率共聚焦扫描技术确保用户实现快速的分析操作。大大提高了工作效率。
其通过各种规格的徕卡物镜、电动载物台和镜筒来对系统进行配置，能够完全适用于所测量的样品。徕卡DCM8包括1个高清CCD摄像头和4个LED光源（RGB和白色）；直观的2D和3D软件便于数据采集和分析，同时可以满足对文档创建需求。
Leica DCM8徕卡共聚焦干涉显微镜-关键特征体现优势：
性高，功能多样，满足各种表面测量需求
• 高清共聚焦显微技术可实现更高横向分辨率、斜率求解和成像
• 高清干涉测量技术可实现高达0.1nm的纵向分辨率
• 显微镜通过明场和暗场方便地实现图像快速摄取
• 具有四盏RGB高清彩色成像LED，应用范围更广泛
• 能使用三种方法测量厚薄不同的薄膜
• 的光学元件、高清CCD摄像头与LED光源相结合，加上高分辨率和对比度提供水晶般清晰透彻的高质量图像
• 依据具体需求选配组件和物镜，量身定制，充分满足测量要求
简单、快速、耐用，省时省力，省资金， 实现测量
• 操作简单，无需准备样品或切换仪器
• 采用数字高清共聚焦扫描，快速、可靠
• 通过大视场和自动拼接所摄取的3D模型组成大表面形貌图像，轻松获取准确数据
• 智能直观的2D和3D软件，适用于数据采集和分析
• 提供三种干涉测量模式，明视场模式和暗视场模式，使其具有更高的度和可重复性
• 设备在使用寿命期限内除正常清洁保养外，几乎不需要任何维护，非常耐用
| 系统 | Leica DCM8技术参数 | |||||||
| 测量原理 | 非接触式3D双核光学成像轮廓测定法（共聚焦和干涉测量） | |||||||
| 功能 | 高清成像、高清3D形貌、轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理、光谱分析、色谱分析等 | |||||||
| 对比度模式 | 高清共聚焦、高清干涉测量（PSI、ePSI、VSI）、高清明场彩色、明场、暗场、实时高清RGB共聚焦 | |||||||
| 样品高度 | 标准型：40mm；包括可调立柱：高150mm；根据要求可提供更高的样品高度 | |||||||
| 物镜 | 共聚焦、明场和暗场模式下，放大倍率1.25X至150X；干涉测量模式下，放大倍率5X至50X | |||||||
| 物镜转盘 | 6位手动式物镜转盘/6位电动式物镜转盘 | |||||||
| 载物台扫描范围（X、Y、Z） |
垂直：Z=40mm；水平：XY=100x75mm（标准），或=300x300mm（大），根据要求， 可提供更大的载物台 |
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| 垂直扫描范围 | 共聚焦40mm，PSI20μm、ePSI100μm、VSI10mm | |||||||
| 照明 | LED光源：红色（630nm），绿色（530nm），蓝色（460nm）和白色 | |||||||
| 图像采集 | CCD黑白传感器：1360x1024像素（全分辨率）；黑白35FPS | |||||||
| 样品反射率 | 0.1%- | |||||||
| 尺寸和重量 | 长x宽x高=573x390x569mm；重量：48kg | |||||||
| 工作条件 | 温度：10℃至35℃；相对湿度（HR）＜80%；海拔高度＜2000m | |||||||
| 隔振 | 有源或无源 | |||||||
| 再现性（50X放大倍率） | 共聚焦/VSI：误差=0.003μm（3nm）；PSI：误差=0.16nm（0.00016μm） | |||||||
| 度（20X放大倍率） | 开环：相对误差＜3%；闭环：误差＜20% | |||||||
| 共聚焦模式 | ||||||||
| 物镜放大倍率 | 1.25X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 数值孔径 | 0.04 | 0.07 | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.9 | 0.95 | 0.95 |
| 视场（μm） | 14032x10560 | 7016x5280 | 3508x2640 | 1754x1320 | 877x660 | 351x264 | 175x132 | 117x88 |
| 光学分辨率（X/Y）（μm） | 35 | 20 | 0.94 | 0.47 | 0.28 | 0.16 | 0.14 | 0.14 |
| 纵向分辨率（nm） | ＜3000 | ＜350 | ＜150 | ＜30 | ＜15 | ＜5 | ＜2 | ＜2 |
| 典型测量时间 | 3-5s | |||||||
| 干涉测量模式 | ||||||||
| 物镜放大倍率 | - | - | 5X | 10X | 20X | 50X | - | - |
| 数值孔径 | - | - | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.5 | - | - |
| 视场（μm） | - | - | 3508x2640 | 1754x1320 | 677x660 | 351x264 | - | - |
| 光学分辨率蓝光（X/Y）（μm） | - | - | 0.94 | 0.47 | 0.35 | 0.28 | - | - |
| 光学分辨率白光（X/Y）（μm） | - | - | 1.12 | 0.56 | 0.42 | 0.33 | - | - |
| 纵向分辨率（nm） | - | - | PSI＜0.1；ePSI＜1.0；VSI＜3.0 | - | - | |||
| 垂直扫描速度（μm/s） | - | - | VSI/ePSI：2.4-17μm/s | - | - | |||
| 典型测量时间 | - | - | PSI：3-6s；VSI：10s；ePSI：30s | - | - | |||
