MC-1900L 气体质量流量控制器

• ◆    流量可覆盖2sccm-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)

• ◆    兼容RS485和模拟通讯模式,通讯模式及协议

• ◆    杰出的性 ≤ ±0.25%F.S及多气体多量程选择

• ◆    *的响应时间及稳定性

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  • 规格
  • MC-1900L

  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体2-5000sccm

  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

  • Fitting
    接头
  • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
    IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

  • Seals 密封
  • 橡胶 Viton

  • Response Time 响应时间
  • ≤1Sec(过满量程10%)

  • Accuracy
    性
  • 25%-*:≤±1%S.P (满量程25%到*)
    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±0.5%

  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.2%

  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi

  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

  • Control Range 控制范围
  • 满量程的2-*

  • Max Operating Pressure *操作压力
  • 70psi

  • Proof Pressure 承受压力
  • *值140psi

  • Communication Type 通讯模式
  • 模拟0-5V / RS485

  • Input Power
    输入功率
  • +15VDC ±2% at 100mA
    -15VDC ±2% at 200mA

  • Command Signal 输入模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-*

  • Output Signal 输出模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-*

  • Power Consumption 功耗
  • 4.5W

  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C

  • Materials 材料
  • 316LSS,316SS,PTFE

  • Weight 重量
  • 0.9kg