持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。
（使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません）
| 適応ウエハーサイズ | 2インチ | 3インチ | 4インチ | 5インチ | 6インチ | 8インチ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| コードNo. | BC-K2 | BC-K3 | BC-K4 | BC-K5 | BC-K6 | BC-K8 |
| 材 質 | 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート | |||||
| エアー圧（MPa） | 0.1 | 0.15 | 0.2 | |||
| 質 量 | 50g | 70g | 80g | 100g | 120g | 170g |
| 付属品 | 導電性チューブ6×4（1.5m） | |||||
| 使用角度 | 20° / 45° / 90° | |||||
