持手の使用角度20度、45度の2点より本体部を選択してください。
（使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません）
| 適応ウエハーサイズ | 6インチ | 8インチ | 12インチ |
|---|---|---|---|
| コードNo. | BC-K6-300 | BC-K8-300 | BC-K12-300 |
| 材 質 | 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート | ||
| エアー圧（MPa） | 0.15 | 0.2 | 0.3 |
| 質 量 | 170g | 220g | 430g |
| 付属品 | 導電性チューブ6×4（1.5m） | ||
| 使用角度 | 20° / 45° | ||
