| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 2,400 |
| 氢 | 3,600 | ||
| 氩气 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 到达圧力 | 帕(托) | 10-7 （10-9） | |
| *流量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.30×10 3 (9.8) |
| 放电容量 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 2.0×10 8 (1.5×10 6 ) |
| 氢 | 1.2×10 6 (9.0×10 3 ) | ||
|
冷却时间 （电源循环） |
*小值(赫兹) | 120/110(50/60) | |
| 入口法兰 | UVG-250,10 B ANSI | ||
| 压缩机组 | C15T | ||
| 质量 | 公斤 | 36.0 | |
