一.功能描述:
四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;*电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
三.技术参数:
规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B |
1.电阻 |
10^-5~2×10^5Ω |
10^-6~2×10^5Ω |
2.方块电阻 |
10^-5~2×10^5Ω/□ |
10^-6~2×10^5Ω/□ |
3.电阻率 |
10^-6~2×10^6Ω-cm |
10-7~2×106Ω-cm |
4.测试电流 |
0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
10mA,100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.电流精度 |
±0.1% |
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6.电阻精度 |
≤0.3% |
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7.PC软件操作 |
PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、 报表生成等 |
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8.压力范围: |
探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调 |
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9.探针 |
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3% 圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制 |
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10.可测晶片 尺寸选购
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晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm); 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
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11.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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12.加压方式 |
测量重复性:重复性≤3% |
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13.安全防护 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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14.测试环境 |
真空 |
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15.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W |
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16.选购项目 |
电脑和打印机 |