•冲击:100 g峰值(5次跌落,3轴)
博思发科技公司PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案,不仅体积小,而且具有低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。
依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理,博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化,这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变,与气体热导率相关。
加热元件(测量电阻)由位于绝热膜上的铂膜电阻组成。隔热膜悬浮在微加工的空腔上,空腔底部表面与隔热膜平行,确保正确测量热传导率。因为只需要少量的气体(腔内体积)就可以实现高精度的测量,博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器具有低功耗和快速响应时间。
传感器芯片上有一个参考电阻,具有与测量电阻相同的温度系数(TCR),可用来做环境温度补偿。
博思发科技公司采用MEMS技术生产的微型皮拉尼真空传感器,在小型化的同时,实现了高可靠性、低成本、使用方便和低功耗,PVC1000系列产品成为行业标配。采用PVC1000系列传感器可以帮助客户改善现有产品,开发创新产品。