PVC6100 系列皮拉尼真空变送器可以从大气压测量到中低真空。PVC6100 系列具有良好的精度、宽量程范围、优越的长期稳定性和寿命,且成本低廉,与市场上其他皮拉尼规相比具有很高的优势。
这一颗传感器元件是基于博思发的第二代MEMS 热导率芯片设计而成。芯片基于*的精微加工工艺制作而成,具有优异的度和一致性。这颗芯片可以测量热导,其上印刷有集成的测温电路,具有良好的灵敏度和重复性。由于工作温度很低,所以相比于灯丝原理的皮拉尼规,PVC6100 系列更能耐受污染物。
特点
量程:0.1~760,000mTorr(0.01Pa~101kPa)
响应时间:小于 1.2 秒
功耗低,可以电池供电
经过温度补偿
中断功能确保高真空环境中没有数据漂移
分段线性化算法和 I2C 通讯,便于
抗污染,耐水汽,油雾和灰尘的侵蚀
应用
便携式数字真空计
配套在真空泵上使用的真空表
工作条件
工作温度:-25~85℃
存储温度:-40~90℃
机械冲击:100g 峰值(
5 次跌落,3 轴)
过载压力:27.5bar(400PSI)