Parylene在MEMS（微电子机械系统）领域的应用在90 年代后期得到了快速的发展, Parylene由于其较低的杨氏模量和液/气渗透率、无应力均匀覆盖性和化学惰性, 广泛应用在微流体器件中, 如Parylene 微阀、质谱分析的Parylene 微喷嘴 、自适应流程控制的Parylene 扑翼、Parylene电泳微通道、Parylene气相色谱柱 、Parylene微泵等。

经 Parylene 涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高 5-10 倍，保证产品可靠性。同时Parylene有很好的隔绝水气的作用，减少产品受水气影响而损坏或者不稳定。