SGL-1700

高温炉

控温方式

采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序。

加热元件

进口1700型硅钼棒

工作电源

AC220V  50Hz/60Hz；额定功率6kw

炉管材质

99瓷氧化铝刚玉管

炉管尺寸

Φ60/80/100*/1000mm

工作温度

≤1600℃

高温度

1650℃

恒温精度

±1℃

升温速度

≤10℃/min

测温元件

B型热电偶

密封方式

不锈钢水冷KF法兰挤压密封

ZK

真空系统

ZK-F

ZK-K

真空范围

0.1-0.001Pa

0.1-0.01Pa

极限真空

5.0*10^-5Pa

5.0*10^-4Pa

产品配置

双级旋片真空泵+分子泵

双级旋片真空泵+扩散泵

冷却方式

风冷

水冷

抽 速

110L/S

100L/S

测量方式

复合真空计

真空规管

电阻规+电离规

ZDC-I

压强控制系统

测量范围

1*10^5～1*10^-1 Pa

稳压

(真空)范围

1*10^3～1*10Pa

压力

(稳定精度）

±3%

控制范围

2.5*10^3～5*10^-1 Pa

控制精度

± 1%

HQZ-Ⅲ

混气系统

控制方式

D07-7K质量流量计,D08流量显示仪

流量规格（可订制）

0－500SCCM /0－1SLM,

线 性

±1%F.S.

准确度

±1%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2sec

耐 压

3MPa

气路通道

3通道（根据客户需求）

针 阀

316不锈钢

管 道

Φ6mm不锈钢管

接 口

SwagelokΦ6mm