一、箱式紫外臭氧清洗机BZS250GF-TS技术参数:
1.整机采用不锈钢304制作,关键元器件采用施耐德,欧姆龙等;
2.电源:220V;
3.灯管:特殊格栅状灯管(进口石英材料),光强26-30mW/cm2,250W,寿命5000小时;
4.主要工作光谱:185nm+254nm;
5.有效清洗面积:8、10英寸(可选择其中一种清洗尺寸);
6.清洗时间控制器:0~99.99小时或分钟;
7.安全防护功能:当清洗腔门打开时,灯管自动熄灭;
8.寿命计时器:计算灯管使用寿命;
9.照射高度: 配置升降托盘,可调高度0~130mm;
10.UV ON/OFF指示,异常指示/警报;
11.灯管预热:具灯管预热提示功能,使清洗数据更*;
12.加热(选配):可选择加配外置加热平台,温度范围:常温~450摄氏度;
13.排风功能:自带臭氧排风系统,可分档调节风速,8cm直径出风口,配置风管及紧固件;
14.净重:22kg
二、箱式紫外臭氧清洗机BZS250GF-TS应用领域
■在进行薄膜沉积之前*行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。高真空度密封。
■清洗硅芯片,透镜,反光镜,太阳能面板,冷轧钢,惯性引导零件和 GaAs芯片
■清洁焊剂,混合电路以及平板LCD显示器
■蚀刻特氟隆,氟橡胶以及其它有机材料
■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面
■增强玻璃的除气作用
■基片蓝膜去除
■增强塑料表面的镀膜的粘附性
■基片终测后墨迹清楚
■去除光刻胶
■平板显示器/液晶显示器
■去除光刻机台上的光刻胶残留物
■在电路板封装和打片之前清洗)
■光纤
■增强表面亲水特性
■为生物科学应用做清洗和消毒
■光学透镜
■其它应用