| 仪器型号 | VMS-2010F |
| X/Y轴行程 | 200*100 |
| Z轴行程 | 有效空间245mm，调焦行程200mm，工作距离95mm |
| 金属台尺寸 | 350*220 |
| 玻璃台尺寸 | 230*130 |
| 传动型式 | X/Y光杆传动，Z轴光轴传动 |
| 测量伺服驱动系统 |
光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005（0.5um） 测量精度：3um+L/200 重复精度;3um+L/200 多功能数据处理器可测点，线，圈，圆角度等 |
| 影像系统 |
摄像机：日本SONY CCD视频放大倍率：30-230X 镜头：NAV高清变倍镜头/连续放大倍率0.7-4.5X 可配0.5X物镜，放大倍率：15-115X 可配2X物镜，放大倍率:60-460X |
| 光源系统 | 表面光源与投射光源冷光源，寿命长，亮度可调 |
| 仪器外形尺寸 | 500*700*1100 |
| 仪器重量 | 200 |
