N90 系列六自由度并联机构

N90 系列六自由度并联机构,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用的*。


特点:

    • 六轴 θx、θy、θz、X、Y、Z 

    • 闭环定位精度高 

    • 小耦合 

    • 误差无积累


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