目前烟气在线监测测量原理方法多种多样，下面就国内几种比较常见的气态污染物组分测量原理进行介绍。
1直接抽气法+红外吸收或紫外吸收测定通过采样探头和伴热管线对抽取的烟气进行加热保温，以保持烟气不结露，输至冷凝干燥装置除湿后送到分析单元或者不冷凝直接送至分析单元，分析仪分析数据为干基值或者湿基值。该方法系统维护量较大、易堵易腐蚀易漏、响应时间较慢，不适用于粉尘浓度较大的场合，目前此测量方法在我国使用较为普遍。
2稀释抽气法+紫外荧光法测定
用稀释气体在采样探头内与烟气按一定比例进行稀释混合，稀释后的烟气进人分析系统测量。该方法系统维护量小，测量值为湿基值，该方法技术复杂、反应较慢、价格较高，运行较稳定，即使在粉尘浓度较高的场合也能够适应，此测量方法在美国使用很普遍。
3红外或紫外光直接测定
在烟道内部发射一束红外光或紫外光直接照射烟气，利用二氧化硫的特征吸收光谱进行测量。该方法简单、无需伴热管线、响应时间快、测量值为湿基值。该分析系统不能进行在线，易堵易污染，准确度较差，应用较少,可用于工况较好的场合。
除此之外,颗粒物目前的测定方法原理主要有浊度法、后向光散射法、射线吸收法、光闪烁法和电荷法。常用的流速测量方法主要有皮托管压差法、热平衡法、声波法、靶式流量计法。温度的测量主要有热电阻和热电偶法。*湿度测量主要有电容法和干湿氧法，氧气测量大部分采用氧化锆传感器和氧电池。由于烟气在线监测系统中氧含量是个非常关键的参数，它会直接影响*终污染物的折算浓度，进而影响排放量的计算，因此氧含量的测量应具有自动在线功能。
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