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随着消费电子产品的不段创新，受益于智能手机和平板电脑的快速发展，MEMS应用已经悄然渗透进入消费者的生活。从游戏市场的加速度传感器，到手机上的陀螺仪、触摸屏上的压力传感器、麦克风，再到智能家居中的湿度传感器等，尽管并不常被人们关注，但MEMS技术在过去的15年中经历了翻天覆地的变化。
意法半导体执行副裁兼模拟器件、MEMS和传感器事业部经理 Benedetto Vigna。资料图
从三星曲面屏幕Edge系列的触摸屏驱动芯片，到魅蓝手机的加速度陀螺仪惯性MEMS元件，在短短的10年时间内，意法半导体凭借在MEMS传感器领域的创新，在消费电子市场打下了一大片江山。
2005年，意法半导体研发的加速度传感器，用在了任天堂等游戏机产品中，引发了MEMS作为消费类产品的爆发。随后，意法半导体又推出了陀螺仪、二合一的6轴惯性模块、压力传感器。目前，意法半导体的MEMS麦克风也以市场井喷状态发生。
意法半导体智能手机用传感器。资料图
不过，意法半导体显然已经开始居安思危，思考MEMS的下一步发展思路了。意法半导体执行副裁兼模拟器件MEMS及传感器产品事业部经理Benedetto Vigna指出，MEMS有它的两面性，一是大家看到的MEMS技术，现在普遍应用于传感器里；二是现在MEMS新的发展，将MEMS做成微型执行器、推进器。目前，意法半导体已经看到了MEMS推进器成为消费类、大市场的前兆，而且已经有此类产品推向市场。
在MEMS的技术分类中，目前主流分为两种类型，即传感器和执行器。据数据显示，2014年传感器出货量达111亿颗，其中MEMS传感器约占34%，而9.99亿颗执行器中绝大多数都是MEMS传感器。
意法半导体MEMS产品元件。资料图
但近年来，MEMS技术大量的创新和市场主要集中在传感器方面。以意法半导体为例，目前意法半导体100亿颗MEMS产品出货量中，执行器占比差不多是25%。而据相关数据显示，2014年全球传感器和执行器销售额为92亿美元。其中，传感器2014年销售额为57亿美元，同比增长5%。尤其是随着物联网的发展，随着智能产品走入智能家居，MEMS传感器中的紫外线传感器、温度传感器、湿度传感器等环境传感器方面也将迎来井喷。按业界预估，这一市场明年将创历史新高，达到61亿美元。
意法半导体坚信MEMS微执行器技术的应用会越来越广泛、越来越有发展前景。例如在胰岛素注射和3D打印方面，这种开发周期、生命周期更长的非消费类市场里，对于MEMS微执行器的应用和认知也会更加多元化。
目前，意法半导体非常看好MEMS微执行器的市场，将会继续投入大量研发实力、人力物力去开拓技术，利用微执行器研发出更多的创新应用和产品。但同时意法半导体也意识到，这个市场才刚刚起步，到真正市场爆发点还会有一段时间。
