导读： MEMS惯性传感器可谓小身材大用途，能广泛应用于战术导弹、智能弹药、制导炮弹、弹射座椅、微型机器人、微小型及纳米卫星控制等领域。
基于MEMS技术的惯性传感器，采用基于半导体晶片制作的工艺，具有类似IC工业适合大批量生产、体积小、重量轻、价格低、可靠性高及易于集成等显著特点。
自控所作为国内惯性传感器的主要研制生产单位，近年来研发的MEMS惯性传感器，如MEMS压力传感器、MEMS加速度计、MEMS陀螺等，采用设计、工艺、测试及封装的数字化、一体化及流程化的新模式，并凭借自身在惯性器件领域的经验和优势，突破了产品工程化应用的技术瓶颈。自控所采用体硅工艺制作的MEMS惯性传感器，不同于采用面硅工艺制作的低精度商用传感器，具有精度高、抗干扰能力强等特点，适用于战术级中、高端军事应用，因此颇具神秘色彩。
而MEMS加速度计采用了传感器芯片与接口电路二次集成的封装方式，既保证了产品精度，又缩小了产品体积（大小不及一个一元硬币）。其的双腔体结构设计、低应力表头芯片粘接方式及金属壳体密封等封装技术，有效地解决了温度、应力以及电磁信号对加计输出性能的影响，精度优于5×10-4g。
MEMS陀螺采用传感器芯片与模拟、数字ASIC电路高集成度封装的方式。全解耦的传感器结构设计、微弱信号检测技术及高集成度封装技术，保证了陀螺在工程应用环境下的输出性能。
MEMS惯性传感器可谓小身材大用途，能广泛应用于战术导弹、智能弹药、制导炮弹、弹射座椅、微型机器人、微小型及纳米卫星控制等领域。现在自控所研制的MEMS航姿系统已在弹射座椅上进行了多次试验。
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